[实用新型]一种自动对位曝光设备有效

专利信息
申请号: 201921812097.0 申请日: 2019-10-26
公开(公告)号: CN210573188U 公开(公告)日: 2020-05-19
发明(设计)人: 陈志特;王华;何增灿;黄海浩 申请(专利权)人: 东莞科视自动化科技有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20;G03F9/00
代理公司: 东莞市中正知识产权事务所(普通合伙) 44231 代理人: 成伟
地址: 523000 广东省东莞*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 自动 对位 曝光 设备
【权利要求书】:

1.一种自动对位曝光设备,包括光源模组和对位模组,其特征在于,还包括第一曝光工位、第二曝光工位和进出料工位,所述第一曝光工位和第二曝光工位分别设置在所述进出料工位的两侧;所述第一曝光工位、第二曝光工位和进出料工位上均设有一工作框模组,三个所述工作框模组分别与一导向模组连接,以实现三个所述工作框模组在所述第一曝光工位、第二曝光工位和进出料工位之间的相互切换;

所述光源模组位于所述第一曝光工位或所述第二曝光工位上;

所述对位模组位于所述第一曝光工位上或所述第二曝光工位上。

2.根据权利要求1所述的自动对位曝光设备,其特征在于,所述第一曝光工位、第二曝光工位和进出料工位上均设有一升降机构,一所述升降机构与一所述工作框模组连接。

3.根据权利要求2所述的自动对位曝光设备,其特征在于,所述工作框模组包括工作框和调节板,所述调节板设置在所述工作框内,并与所述升降机构连接。

4.根据权利要求2所述的自动对位曝光设备,其特征在于,三个所述升降机构分别固定在所述第一曝光工位、第二曝光工位和进出料工位上,所述第一曝光工位、第二曝光工位上的所述升降机构均设置有对位平台,所述对位平台与所述工作框模组连接。

5.根据权利要求1所述的自动对位曝光设备,其特征在于,所述光源模组设有两个,分别位于所述第一曝光工位和所述第二曝光工位上。

6.根据权利要求5所述的自动对位曝光设备,其特征在于,所述对位模组设有两个,分别位于所述第一曝光工位和所述第二曝光工位上。

7.根据权利要求1所述的自动对位曝光设备,其特征在于,所述导向模组包括三个互相平行设置的导向机构,一个所述导向机构连接一个所述工作框模组。

8.根据权利要求1所述的自动对位曝光设备,其特征在于,所述对位模组为CCD自动对位系统。

9.根据权利要求1所述的自动对位曝光设备,其特征在于,还包括进料模组和出料模组,所述进料模组和出料模组分别设置在所述进出料工位的两侧。

10.根据权利要求7所述的自动对位曝光设备,其特征在于,所述导向机构包括滑轨和驱动装置,所述驱动装置与所述滑轨连接,所述滑轨与所述工作框模组连接。

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