[实用新型]一种真空插板开关阀的密封结构

说明书

本实用新型公开一种真空插板开关阀的密封结构，包括升降轴、气缸、阀门、密封圈和阀体；升降轴上安装有四个气缸；气缸的活动端安装有阀门；阀门的右端加工有燕尾止口；阀门的右端安装有密封圈，密封圈的密封面为平面型密封面；阀体的左端设有微织构密封面；密封状态时，密封圈的平面型密封面与阀体的微织构密封面相接触；四个气缸均匀分布于阀门的四个角点，且正对于密封圈。本实用新型大幅度提高了真空插板开关阀的密封效果和可靠性，可应用于半导体刻蚀反应腔的密封。

技术领域

本实用新型涉及半导体装备领域，具体涉及一种真空插板开关阀的密封技术。

背景技术

真空插板开关阀是半导体刻蚀装备的核心产品，阀门的密封性能直接决定半导体刻蚀的质量。

现有真空插板开关阀的密封效果和可靠性达不到要求，需要研发新的技术来满足使用要求。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种真空插板开关阀的密封结构，以获得可靠的密封效果和真空度。

为了解决以上技术问题，本实用新型采用的具体技术方案如下：

一种真空插板开关阀的密封结构，包括升降轴(1)、气缸(2)、阀门(3)、密封圈(4)和阀体(5)；升降轴(1)上安装有四个气缸(2)；气缸的活动端安装有阀门(3)；阀门(3)的右端加工有燕尾止口(31)；阀门(3)的右端安装有密封圈(4)，密封圈(4) 的密封面为平面型密封面(41)；阀体(5)的左端设有微织构密封面(51)；密封状态时，密封圈(4)的平面型密封面(41)与阀体(5)的微织构密封面(51)相接触；四个气缸(2)均匀分布于阀门(3)的四个角点，且正对于密封圈(4)。所述的微织构密封面 (51)表面加工有均匀分布的圆形微凹坑阵列，假设微凹坑的直径为D，则同一行中相邻微凹坑中心的距离L为且下一行的每一个微凹坑与上一行的相邻微凹坑相切。

所述的微织构密封面(51)表面的微凹坑直径D为80～120μm，微凹坑的截面形状为“碗形”，深度h为10～15μm。

四个所述气缸(2)提供的压力相等，通过给气缸(2)提供压缩空气，使气缸(2) 的活动端向右移动，从而使密封圈(4)与密封面(51)接触获得密封效果。

本实用新型具有的有益效果。本实用新型中：四个气缸均匀分布于阀门的四个角点，且正对于密封圈，可以保证密封圈受到均匀的压力，从而为本实用新型悬臂式密封结构提供可靠的密封效果；阀门的右端加工有燕尾止口，可以保证梯形截面密封圈在实用新型动作过程中不会脱落；密封圈的密封面为平面，与阀体的密封面相互配合，可以提供稳定可靠的密封效果；阀体的密封面的表面加工有均匀分布的圆形微凹坑阵列，微凹坑的截面形状为“碗形”，且同一行中相邻微凹坑中心的距离为同时下一行的每一个微凹坑与上一行的相邻微凹坑相切，可以保证密封圈的密封面与阀体的密封面紧密配合，达到真空气密效果。

附图说明

图1是本实用新型真空插板开关阀的密封结构的示意图。

图中：1升降轴，2气缸，3阀门，4密封圈，5阀体，31燕尾止口，41平面型密封面，51微织构密封面。

图2是本实用新型阀体密封表面微凹坑的排列方式示意图。

图3是微凹坑的截面示意图。

具体实施方式

为更好的阐述本实用新型的实施细节，下面结合附图和具体实施例对本实用新型的技术方案做进一步详细说明。