[实用新型]石英制品的开槽设备

说明书

本实用新型公开了石英制品的开槽设备，包括底座(1)，底座(1)上设有输送装置(2)，输送装置(2)包括输送履带(21)，输送履带(21)的表面设有通孔(22)，底座(1)上沿着输送方向还依次滑动连接有浇蜡装置(3)、开槽装置(4)和化蜡装置(5)，输送装置(2)的下方设有工作平台(6)，工作平台(6)上与开槽装置(4)对应处设有若干真空吸盘(61)。本实用新型具有工作效率高、固定稳定、适合大物件开槽的特点。

技术领域

本实用新型涉及一种石英制品的加工设备，特别是石英制品的开槽设备。

背景技术

目前在半导体产品制造行业，石英舟作为晶片承载器被广泛应用于半导体氧化扩散工序中，槽棒的槽内可插入多片晶片进行扩散加工，其形状结构、开槽精度、槽间距离等对半导体硅质量有较大影响。因此，石英舟在加工时，对石英槽棒的开槽无疑是最关键的一步。对石英长舟而言，石英槽棒的长度较长，开槽加工时如何将石英槽棒定位固定是个难点，这也将直接影响到石英槽棒开槽后的质量与精度。

目前，石英制品特别是石英槽棒的开槽加工通常为将石英槽棒置于具有V形槽的数控机床工作台面上，防止石英槽棒在开槽过程中发生移动而导致开槽精度降低。实际加工过程中，石英槽棒固定在V形槽内，处于静止状态，主要通过开槽装置移动对整个石英槽棒进行开槽处理，工作效率较低，且这种固定开槽方式使得石英槽棒在开槽过程中会产生细微的上下颤动，轻则使得开槽位置不均匀，重则会使石英槽棒整体断裂；且一般只适合细小物件的开槽，不方便大物件的开槽使用。

因此，现有的石英制品的开槽设备存在工作效率较低、固定不稳定、不适合大物件开槽的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供石英制品的开槽设备。本实用新型具有工作效率高、固定稳定、适合大物件开槽的特点。

本实用新型的技术方案：石英制品的开槽设备，包括底座，底座上设有输送装置，输送装置包括输送履带，输送履带的表面设有通孔，底座上沿着输送方向还依次滑动连接有浇蜡装置、开槽装置和化蜡装置，输送装置的下方设有工作平台，工作平台上与开槽装置对应处设有若干真空吸盘。

前述的石英制品的开槽设备中，所述浇蜡装置包括浇蜡安装架，浇蜡安装架上设有第一二维移动装置，第一二维移动装置上设有浇蜡壶，浇蜡壶的外周壁上围绕有电热丝，浇蜡壶的外部设有保护罩。

前述的石英制品的开槽设备中，所述开槽装置包括开槽安装架，开槽安装架上设有第二二维移动装置，第二二维移动装置上设有开槽机。

前述的石英制品的开槽设备中，所述开槽装置采用至少两个，所述开槽机的刀片采用五槽刀片。

前述的石英制品的开槽设备中，所述化蜡装置包括化蜡安装架，化蜡安装架上设有第三二维移动装置，第三二维移动装置上设有化蜡火炬。

前述的石英制品的开槽设备中，所述第一二维移动装置、第二二维移动装置和第三二维移动装置均包括电机，电机上连接有丝杠，丝杠上设有滑块，滑块上设有气缸，气缸的活塞杆与浇蜡壶、开槽机和化蜡火炬对应连接。

与现有技术相比，本实用新型通过输送装置将多根石英槽棒输送到不同的加工位置处进行加工处理，而无需开槽装置整个移动，开槽时采用多个开槽装置和五槽刀片进行切割，一次性可以切割多个开槽，大大提高工作效率；本实用新型先通过浇蜡装置进行浇蜡处理进行初步固定，然后在开槽区域通过真空吸盘进一步吸附，大大提高石英槽棒的固定性能，不易发生偏移、晃动等问题，切割精确度高，稳定性好，开槽过程中不易损坏；开槽完成后，通过后续的化蜡装置将蜡融化，然后随着输送装置直接输出，取料方便快捷。本实用新型的整个开槽工作一次性可以加工多根石英棒，大大提高工作效率，比现有的设备的工作效率提高10倍。此外，本实用新型还可以将整个已经安装好的石英舟放到输送装置上进行输送、浇蜡、切割和化蜡操作，不仅适合石英槽棒等小物件的开槽，还适合整个石英舟的开槽，适用范围更广，操作更加方便，实用性更强。