[实用新型]一种晶圆铁环放置推车

说明书

本实用新型公开了半导体晶圆领域内的一种晶圆铁环放置推车，包括若干片晶圆铁环，晶圆铁环的外边缘分别设置有前定位面、后定位面、左定位面和右定位面，还包括底板，底板下侧设置有至少四个万向轮，各片晶圆铁环依次堆叠放在摆放架上，各晶圆铁环的外圆周方向间隔设置有至少3根定位立杆，所述底板的左侧、右侧和后侧均设置有立柱，各立柱上端固定连接有U形顶部支架，每根所述立柱上固定连接有定位件，定位件的左侧板和右侧板分别与相应立柱的左侧面、右侧面相对应，定位件中间板与立柱正面相对应，三个定位件中间板的另一侧分别与左定位面、右定位面和后定位面相贴合。本实用新型能够方便地转移晶圆铁环，防止晶圆铁环的位置偏移。

技术领域

本实用新型属于半导体晶圆领域，特别涉及一种晶圆铁环放置推车。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。

现有技术中，晶圆铁环可以很好的把晶圆固定，使其在生产过程中周转运输时不会把昂贵的晶圆片给弄碰伤、刮花等现象的发生。现有技术中，采用三根截面为圆形的竖直杆将机台上的晶圆铁环的外周固定，但是晶圆铁环的四周还具有四个平面，这四个平面缺少定位组件，导致晶圆铁环的位置容易偏移和移动，当机械手臂来吸取偏移后的铁环时会报警真空异常，原因是机械手臂上的吸嘴未能吸住晶圆铁环导致，从而导致机台无法继续作业，机台存在运行风险。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种晶圆铁环放置推车，能够方便地转移运输晶圆铁环，防止入料时晶圆铁环的位置偏移，确保机械手臂可以取到晶圆铁环，减少修机时间，提高机台生产效率。

本实用新型的目的是这样实现的：一种晶圆铁环放置推车，包括若干片晶圆铁环，晶圆铁环的外边缘分别设置有前定位面、后定位面、左定位面和右定位面，还包括水平设置的底板，底板下侧设置有至少四个万向轮，底板上设置有摆放架，各片晶圆铁环从上到下依次堆叠放在摆放架上，各晶圆铁环的外圆周方向间隔设置有至少3根定位立杆，每根定位立杆均与晶圆铁环的外边缘相贴合，所述底板的左侧、右侧和后侧均设置有立柱，各立柱上端固定连接有U形顶部支架，每根所述立柱上固定连接有截面为U形的定位件，定位件包括左侧板和右侧板，左侧板和右侧板之间设置有中间板；定位件的左侧板和右侧板分别与相应立柱的左侧面、右侧面相对应，定位件中间板与立柱正面相对应，三个定位件中间板的另一侧分别与左定位面、右定位面和后定位面相贴合。

本实用新型通过至少三根定位立杆将晶圆铁环的弧形边缘固定，通过三个定位件的中间板将晶圆铁环的左定位面、右定位面和后定位面固定，定位件的安装高度与定位立杆的高度需一致。与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：通过定位件和定位立杆可以将晶圆铁环的位置完全固定在铁环放置区内，不会有偏移，进而不会影响机械手臂吸取铁环，减少修机时间，提高机台生产效率。

作为本实用新型的进一步改进，所述摆放架包括两根左右对称的竖直支撑杆，每根支撑杆上均固定连接有水平的支撑条，支撑条长度方向与底板宽度方向平行，各片晶圆铁环从上到下依次堆叠放在两根支撑条上。摆放架的结构简单，安装制作方便。

作为本实用新型的进一步改进，所述立柱的左右两侧均固定连接有一组定位组件，每组定位组件包括两个上下对应分布的定位螺丝，定位件左侧板和右侧板上均一体设置有两个上下对应分布的挂钩，挂钩下侧具有L形凹槽，两个挂钩分别挂在立柱对应一侧的两个定位螺丝上，定位螺丝插入对应凹槽内。在立柱的左右两侧面各打两个螺丝固定孔，安装定位螺丝后，将长方体定位件的挂钩定位安装在立柱上，不锈钢定位件的安装高度与定位立杆高度需一致。

作为本实用新型的进一步改进，所述底板上对应各定位立杆设置有若干安装座，安装座上竖直开设有安装孔，所述定位立杆的下端插入对应安装座的安装孔内；安装座的数量多于定位立杆的数量。定位铁环的尺寸不一样时，可以将定位立杆插入不同的安装座安装孔内。