[实用新型]一种可实现运动解耦的两自由度柔顺精密定位平台

权利要求书

1.一种可实现运动解耦的两自由度柔顺精密定位平台，其特征在于，包括：

定平台(1)；

第一微动平台(2)，其通过第一柔顺机构(3)与所述定平台(1)连接，所述第一柔顺机构(3)使所述第一微动平台(2)沿横向微动；

第二微动平台(4)，其通过第二柔顺机构(5)与所述第一微动平台(2)连接，所述第二柔顺机构(5)使所述第二微动平台(4)沿纵向微动。

2.如权利要求1所述的可实现运动解耦的两自由度柔顺精密定位平台，其特征在于，所述定平台(1)呈圆环形。

3.如权利要求2所述的可实现运动解耦的两自由度柔顺精密定位平台，其特征在于，所述第一微动平台(2)呈圆环形，所述第一微动平台(2)的外径小于所述定平台(1)的内径。

4.如权利要求3所述的可实现运动解耦的两自由度柔顺精密定位平台，其特征在于，所述第二微动平台(4)呈圆形，所述第二微动平台(4)的直径小于所述第一微动平台(2)的内径。

5.如权利要求4所述的可实现运动解耦的两自由度柔顺精密定位平台，其特征在于，所述定平台(1)、所述第一微动平台(2)、所述第二微动平台(4)呈嵌套式结构。

6.如权利要求1所述的可实现运动解耦的两自由度柔顺精密定位平台，其特征在于，所述第一柔顺机构(3)包括沿纵向对称设置的一对第一柔顺组件，所述第一柔顺组件连接所述定平台(1)和所述第一微动平台(2)。

7.如权利要求6所述的可实现运动解耦的两自由度柔顺精密定位平台，其特征在于，所述第一柔顺组件包括第一压电陶瓷驱动器(301)、第一柔顺四杆机构(302)、第一柔顺平行导向机构(303)，所述第一压电陶瓷驱动器(301)固定在所述定平台(1)上，所述第一压电陶瓷驱动器(301)沿横向伸缩，驱动所述第一柔顺四杆机构(302)发生横向变形，所述第一柔顺平行导向机构(303)产生纵向的变形，以弥补所述第一柔顺四杆机构(302)发生横向变形引起的纵向缩短。

8.如权利要求1所述的可实现运动解耦的两自由度柔顺精密定位平台，其特征在于，所述第二柔顺机构(5)包括沿横向对称设置的一对第二柔顺组件，所述第二柔顺组件连接所述第一微动平台(2)和所述第二微动平台(4)。

9.如权利要求8所述的可实现运动解耦的两自由度柔顺精密定位平台，其特征在于，所述第二柔顺组件包括第二压电陶瓷驱动器(501)、第二柔顺四杆机构(502)、第二柔顺平行导向机构(503)，所述第二压电陶瓷驱动器(501)固定在所述第一微动平台(2)上，所述第二压电陶瓷驱动器(501)沿纵向伸缩，驱动所述第二柔顺四杆机构(502)发生纵向变形，所述第二柔顺平行导向机构(503)产生横向的变形，以弥补所述第二柔顺四杆机构(502)发生纵向变形引起的横向缩短。