[实用新型]一种龙门式抓片装置

说明书

一种龙门式抓片装置，包括龙门机构和抓片机构，抓片机构包括移动组件和抓片装置，移动组件包括第一方向移动单元、第二方向移动单元、第三方向移动单元；本实用新型中的抓片机构能够进行空间内相互垂直的第一方向、第二方向和第三方向的精准调整，实现精准抓片；本实用新型设有多组抓片机构，每组抓片机构内设有大量吸盘主体，这样的结构设计有助于装置一次性抓取大量的片状原料；吸盘主体内设有多个同心分布的气槽，多个同心分布的气槽可以增大吸盘与片状材料之间的吸力，有效防止送料时片状材料脱落；插片部位的设计让吸盘很容易的插入到摆放在一起的片状元件之间，大大方便了送/取料操作。

技术领域

本实用新型涉及送/取料技术领域，尤其涉及用于一种半导体材料或光伏材料加工的吸盘。

背景技术

半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业，半导体和光伏材料通常都需要经过加工处理才能够应用到产品上，CVD技术、扩散工艺或氧化工艺是其中的一种处理方式，其中CVD即化学气相沉积，CVD技术目前已经广泛用于半导体或光伏材料加工，常见的加工设备有PECVD、LPCVD、APCVD等，除了CVD之外还有扩散工艺包括磷扩散、硼扩散等，目前行业虽然已经有不少相关设备，但是某一些技术问题仍未得到解决，比如如何实现半导体和光伏片状原料的快速取/送料，片状的半导体和光伏材料轻薄易碎，人工取/送料极易损毁；半导体和光伏片状原料难以进行大量取/送料，导致加工过程中取/送料阶段花费大量时间；此外，半导体和光伏中的部分加工工艺需要在高温条件下进行，比如材料的镀膜、扩散、氧化、LPCVD等管式炉上下料，例如超薄硅片，它需要在低压高温氛围下实现化学反应和沉积成膜，在抓取加工完的硅片时，硅片上仍有余热，而现实生活中应用较多的：普通片状材料的送/取料，它采用的是吸盘式送/取料机构，很显然，这种机构无法应用抓取有余热的硅片，因为它们的吸盘的材料大多是硅胶、聚氨酯，这些材料制成的吸盘在余热的作用下可能会部分熔化，导致吸盘黏连在硅片表面。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种龙门式抓片装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的一种龙门式抓片装置，包括龙门机构和两个抓片机构，作为优选的技术方案，抓片机构至少有一个。抓片机构包括移动组件和抓片装置，移动组件通过与龙门机构位置关系的改变来调整抓片装置的位置，从而实现抓片，抓片装置包括第一方向移动单元、第二方向移动单元、第三方向移动单元，通过上述三个移动单元抓片机构能实现抓片装置在空间上第一、第二、第三三方向的移动，需要注意的是，第一方向、第二方向、第三方向仅代表三个空间上相互垂直的方向，并不对它的具体朝向进行限定，两个抓片机构的设置有助于提高装置整体抓片效率。

优选的，龙门机构包括两根固定梁，两根固定梁上分别设有可移动的支撑块，两个支撑块之间连接有悬臂梁，支撑块与固定梁之间通过龙门移动装置进行驱动，龙门移动装置包括分别设于两根固定梁内传送带装置，两个传送带装置之间通过连接轴进行连接，可以使两个传送带装置进行同步运动，传送带装置由第一电机通过带传动进行驱动，作为优选的技术方案，传送带装置由第一电机通过链传动进行驱动，作为优选的技术方案，传送带装置由第一电机通过齿轮传动进行驱动，固定梁上设有第一直线导轨，第一直线导轨上搭配的滑块连接有支撑块，支撑块上设有连接传送带装置上固定位置的第一连接块，作为优选的技术方案，龙门移动装置能够选取直线液压缸或是电机丝杠与直线导轨的组合结构形式。通过启动第一电机带动传送带装置运行，传送带装置通过第一连接块带动两侧的支撑块同步运动，两侧的支撑块带动悬臂梁和抓片机构的运动。

优选的，第二方向移动单元包括悬臂梁上设有的两组由独立电机驱动的丝杠，作为优选的技术方案，抓片机构设有三组，则对应设有三组第一丝杠。悬臂梁上设有第二直线导轨，抓片机构包括与第一丝杠配对的第一丝杠螺母以及与第二直线导轨上搭配的滑块固定连接的第二连接块，通过电机带动第一丝杠旋转，第一丝杠通过第一丝杠螺母带动抓片机构内的抓片装置沿第二直线导轨进行第二方向内的移动。