[实用新型]一种气体管道结构

权利要求书

1.一种气体管道结构，其特征在于，连接工艺炉管的排气口，用于处理工艺炉管内排出的气体，包括真空泵和真空计，真空泵能够将工艺炉管内的气体抽入气体管道，真空计能够监控管内真空数值并控制真空泵启停。

2.根据权利要求1所述的一种气体管道结构，其特征在于，包括气动阀，气动阀位于真空泵上游。

3.根据权利要求1所述的一种气体管道结构，其特征在于，还包括冷凝装置和过滤装置，冷凝装置位于过滤装置的上游。

4.根据权利要求3所述的一种气体管道结构，其特征在于，冷凝装置位于工艺炉管下游，冷凝装置通过耐高温材料接头与工艺炉管进行连接。

5.根据权利要求3所述的一种气体管道结构，其特征在于，真空泵位于过滤装置下游，气体先经过过滤装置后经过真空泵。

6.根据权利要求3所述的一种气体管道结构，其特征在于，冷凝装置选自石英冷凝管、石英冷凝瓶、镀锌钢管中的至少一种。

7.根据权利要求3所述的一种气体管道结构，其特征在于，过滤装置包括至少一个滤瓶，当滤瓶数量大于等于两个时，滤瓶之间通过特氟龙卡套接头进行连接。

8.根据权利要求3所述的一种气体管道结构，其特征在于，过滤装置与冷凝装置之间通过至少一根特氟水管进行连接。

9.根据权利要求8所述的一种气体管道结构，其特征在于，当特氟水管数量大于等于两根时，相邻的特氟水管通过特氟龙卡套接头进行连接。

10.根据权利要求2、4、6、7或9所述的一种气体管道结构，其特征在于，冷凝装置的类型选自直行冷凝管、球形冷凝管、蛇形冷凝管中的至少一种，过滤装置还包括固定板和直角连接板，固定板用于将滤瓶固定安装，直角连接板的一个直角面固定连接于固定板，另一个直角面用于安装，使滤瓶竖直安装，特氟龙卡套接头采用螺纹式连接，特氟水管与滤瓶之间也采用特氟龙卡套接头进行连接，特氟水管与冷凝装置通过耐高温接头进行连接，一种尾气管道结构的内部装置的布置顺序为：工艺炉管-石英冷凝管-特氟水管-滤瓶-真空计-气动阀-真空泵-厂务尾排管。