[实用新型]一种气体净化结构

说明书

一种气体净化结构，连接工艺炉管的排气口，用于处理工艺炉管内排出的气体，包括冷凝装置和过滤装置，冷凝装置被配置为用于连接净化进气部分，冷凝装置连接过滤装置，过滤装置配置为用于连接净化出气部分，进入气体净化结构内的气体先经过冷凝装置后经过过滤装置；本实用新型的气体净化结构无需人工控制，真空计能自动监控炉管内真空数值并控制真空泵启停；特氟龙卡套接头能保证接口处的密封性能同时连接方便拆装清洗，保证工作时管道的密封性且降低定期维护时管道的维护难度；特氟水管能够耐高温和耐尾排气体腐蚀，使本实用新型的气体净化结构使用寿命更久。

技术领域

本实用新型涉及气体处理技术领域，尤其涉及用于一种气体净化结构。

背景技术

半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业，半导体和光伏材料通常都需要经过加工处理才能够应用到产品上，CVD技术、扩散工艺或氧化工艺是其中的一种处理方式，其中CVD即化学气相沉积，CVD技术目前已经广泛用于半导体或光伏材料加工，常见的加工设备有PECVD、LPCVD、APCVD等，除了CVD之外还有扩散工艺包括磷扩散、硼扩散等，在太阳能电池片扩散设备加工过程中，会产生尾气排放，根据环保部门的相关要求，需对尾气处理后再排放，虽然市面上已经有了许多尾气处理设备，但是它们并不适用于太阳能电池片扩散设备的尾气处理。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种气体净化结构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的本实用新型所采用的技术方案是一种气体净化结构，连接工艺炉管的排气口，用于处理工艺炉管内排出的气体，包括冷凝装置和过滤装置，冷凝装置被配置为用于连接净化进气部分，冷凝装置连接过滤装置，过滤装置配置为用于连接净化出气部分，进入气体净化结构内的气体先经过冷凝装置后经过过滤装置，本实用新型中净化结构所净化的气体主要来自于半导体或光伏材料加工设备的排放，这类设备的尾气通常具有高温高压气体性质稳定不易被化学吸收的特点。

作为优选，冷凝装置通过耐高温材料接头与工艺炉管进行连接，耐高温材料接头能承受工艺炉管内的高温。

作为优选，冷凝装置选自石英冷凝瓶、石英冷凝管、镀锌钢管中的至少一种。

作为优选，还包括能够将工艺炉管内的气体加速抽入气体净化结构的真空泵，能够提高气体处理速度。

作为优选，真空泵位于过滤装置下游，气体先经过过滤装置后经过真空泵，过滤装置能过滤掉管道内绝大多数的酸性物质并降低气体对真空泵的腐蚀。

作为优选，包括气动阀，气动阀位于真空泵上游，气动阀能够调节管道内的额定流量。

作为优选，过滤装置包括至少一个滤瓶。

作为优选，过滤装置还包括固定板和直角连接板，固定板用于将滤瓶固定安装，直角连接板的一个直角面固定连接于固定板，另一个直角面用于安装滤瓶，使滤瓶竖直安装。

作为优选，滤瓶与冷凝装置通过至少一根特氟水管进行连接，特氟水管能够耐高温和耐尾排气体腐蚀。

作为优选，冷凝装置的类型选自直行冷凝管、球形冷凝管、蛇形冷凝管中的至少一种，当滤瓶数量大于等于两个时，滤瓶之间通过特氟龙卡套接头进行连接，特氟龙卡套接头采用螺纹式连接，当特氟水管数量大于等于两根时，相邻特氟水管通过特氟龙卡套接头进行连接，特氟水管与滤瓶之间也采用特氟龙卡套接头进行连接，特氟水管与冷凝装置通过耐高温接头进行连接，特氟水管与冷凝装置通过耐高温接头进行连接，特氟龙卡套接头能保证接口处的密封性并方便拆装清洗。