[实用新型]一种用于真空镀膜机的电磁加热器有效

专利信息
申请号: 201921802393.2 申请日: 2019-10-24
公开(公告)号: CN210765483U 公开(公告)日: 2020-06-16
发明(设计)人: 彭朝阳 申请(专利权)人: 深圳市赛舸电子科技有限公司
主分类号: C23C14/26 分类号: C23C14/26
代理公司: 成都明涛智创专利代理有限公司 51289 代理人: 丁国勇
地址: 518000 广东省深圳市光明新区公明*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 真空镀膜 电磁 加热器
【说明书】:

实用新型公开了一种用于真空镀膜机的电磁加热器,涉及电磁加热技术领域,该用于真空镀膜机的电磁加热器,包括散热防护架,所述固定箱体一侧的顶端固定连接有温度传感器接口、功率调节器接口和显示器接口,所述固定箱体一侧顶端远离温度传感器接口的一端固定安装有冷却风机通风管,所述冷却风机通风管远离固定箱体的一端固定安装有密封胶套。该用于真空镀膜机的电磁加热器,避免温度传感器接口、功率调节器接口和显示器接口的连接产生松动,影响信号的传输,通过提高信号传输的稳定性能够有效提高对电磁加热器控制的稳定性,进而提高对加热器的控制效率,避免镀膜损坏,能够有效的对加热时间进行调控,节约能源。

技术领域

本实用新型涉及电磁加热技术领域,具体为一种用于真空镀膜机的电磁加热器。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种,需要镀膜的被称为基片,镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程形成薄膜,电磁加热由于寿命长、安全可靠、高效节能和准确温控灯优点被广泛应用,在真空镀膜机中使用电磁加热技术能够有效的提高镀膜的效率。但是,现有的真空镀膜机的电磁加热器还存在一些问题:

1、由于真空镀膜机进行镀膜时需要对镀膜的温度进行控制,而现有的真空镀膜机的电磁加热器不能有效的控制加热器的加热功率,容易使镀膜损坏,而且,长时间使加热器处于高功率不利于节约资源;

2、现有的真空镀膜机电磁加热器需要人工对加热器进行控制,工作效率低,人工成本较大。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种用于真空镀膜机的电磁加热器,通过温度传感器接口、功率调节器接口和显示器接口的连接控制以及连接接口的连接控制,解决了上述问题。

(二)技术方案

为实现以上目的,本实用新型通过以下技术方案予以实现:一种用于真空镀膜机的电磁加热器,包括固定箱体,所述固定箱体一端的内部固定连接有散热风扇,所述固定箱体靠近散热风扇的一端固定安装有散热防护架,所述固定箱体一侧的顶端固定连接有温度传感器接口、功率调节器接口和显示器接口,所述固定箱体一侧顶端远离温度传感器接口的一端固定安装有冷却风机通风管,所述冷却风机通风管远离固定箱体的一端固定安装有密封胶套,所述固定箱体另一侧的顶端固定安装有固定架,所述固定架的内部转动连接有连接接口架,所述固定架远离连接接口架的一端转到连接有防护板,所述固定箱体靠近固定架一侧的中部固定连接有线圈连接架,所述固定箱体的顶部固定安装有密封端盖。

可选的,所述固定箱体的一端开设有和散热风扇相适配的通孔,所述固定箱体靠近通孔的一侧开设有散热防护架相适配的螺纹孔。

可选的,所述散热防护架和固定箱体通过螺钉连接,散热防护架的四角处开设有和螺钉相适配的通孔。

可选的,所述温度传感器接口、功率调节器接口和显示器接口位于同一平面,所述温度传感器接口、功率调节器接口和显示器接口的表面均开设有螺纹。

可选的,所述固定箱体一侧的顶端开设有和冷却风机通风管相适配的通孔,所述冷却风机通风管和固定箱体通过螺钉连接,所述冷却风机通风管的一端开设有和螺钉相适配的通孔。

可选的,所述固定架和固定箱体通过螺钉连接,所述固定架的一端开设有和连接接口架相适配的槽孔,所述固定架的另一端开设有和防护板相适配的槽口。

可选的,所述连接接口架的顶端开设有三个连接凹槽,所述连接接口架的两端设置有和固定架相适配的转轴,所述防护板的顶端设置有和固定架相适配的连接轴,所述密封端盖和固定箱体通过螺钉连接。

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