[实用新型]一种用于腐蚀前清洗机的硅片抛动装置有效

专利信息
申请号: 201921776596.9 申请日: 2019-10-22
公开(公告)号: CN211275823U 公开(公告)日: 2020-08-18
发明(设计)人: 韩云霄;杨波;胡晓亮 申请(专利权)人: 麦斯克电子材料有限公司
主分类号: B08B13/00 分类号: B08B13/00;B08B3/12;B08B3/08
代理公司: 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 代理人: 王海龙
地址: 471000 河南省洛*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 腐蚀 清洗 硅片 装置
【权利要求书】:

1.一种用于腐蚀前清洗机的硅片抛动装置,该抛动装置设置在超声清洗机槽体底部,通过传动板(1)为清洗机槽体的片盒架提供动力,带动硅片上下抛动,其特征在于:该抛动装置包括传动板(1)、固定杆(2)、底板(4)、转轮(5)、凸轮(6)、连接板(8)和直线导轨(7);

所述传动板(1)的两侧分别贯穿设置所述固定杆(2),所述传动板(1)上均匀分布有若干个用于固定传动板(1)和固定杆(2)的固定螺丝孔(3),所述底板(4)设置在传动板(1)的下方且与固定杆(2)的底端分别连接,所述转轮(5)设置在该抛动装置的中心位置且连接后方的电机,转轮(5)的上部贯穿设置凸轮(6)且转轮(5)的转动带动所述凸轮(6)的转动,所述凸轮(6)的上方通过连接板(8)连接设置所述直线导轨(7),所述直线导轨(7)位于连接板(8)和传动板(1)之间,直线导轨(7)和连接板(8)将凸轮(6)的圆周运动转化为传动板(1)的非匀速直线运动。

2.根据权利要求1所述的一种用于腐蚀前清洗机的硅片抛动装置,其特征在于:所述固定杆(2)的个数为2个。

3.根据权利要求1所述的一种用于腐蚀前清洗机的硅片抛动装置,其特征在于:所述固定螺丝孔(3)的个数为8个。

4.根据权利要求1所述的一种用于腐蚀前清洗机的硅片抛动装置,其特征在于:所述固定杆(2)分别与传动板(1)、底板(4)连接。

5.根据权利要求1所述的一种用于腐蚀前清洗机的硅片抛动装置,其特征在于:所述凸轮(6)的转动带动所述连接板(8)转动,所述直线导轨(7)用于将连接板(8)的圆周运动转化为传动板(1)的上下运动。

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