[实用新型]一种自动内循环和流量控制的水镀装置

权利要求书

1.一种自动内循环和流量控制的水镀装置，包括电镀池，所述电镀池内设有转向导电辊，铜膜进入所述电镀池后绕过所述转向导电辊并出池，其特征在于，所述电镀池的左右两侧分别设有对称的入池区和出池区，

在所述入池区中，所述铜膜的外侧设有第一入池钛蓝和第一外进液管，所述第一外进液管流出的液体穿过所述第一入池钛蓝到达所述铜膜的外侧表面，所述铜膜的内侧设有第二入池钛蓝和第一内进液管，所述第一内进液管流出的液体穿过所述第二入池钛蓝到达所述铜膜的内侧表面；

在所述出池区中，所述铜膜的外侧设有第一出池钛蓝和第二外进液管，所述第二外进液管流出的液体穿过所述第一出池钛蓝到达所述铜膜的外侧表面，所述铜膜的内侧设有第二出池钛蓝和第二内进液管，所述第二内进液管流出的液体穿过所述第二出池钛蓝到达所述铜膜的内侧表面；

所述电镀池的上侧边缘设有回液槽，所述回液槽内设有若干铜离子浓度探测器，所述铜离子浓度探测器通过闭环控制系统与各个进液管入口处的比例阀连接。

2.根据权利要求1所述的自动内循环和流量控制的水镀装置，其特征在于，所述第一外进液管、所述第一内进液管、所述第二外进液管以及所述第二内进液管上均设有若干喷液孔，随着所述喷液孔与对应的所述比例阀距离的增大，所述喷液孔的孔径随之减小，且相邻两个所述喷液孔的间距也随之减小。

3.根据权利要求1所述的自动内循环和流量控制的水镀装置，其特征在于，所述入池区内还设有第一导流板，所述第一导流板与所述第一外进液管的位置对应，其将所述第一外进液管流出的液体导流至所述第一入池钛蓝处。

4.根据权利要求3所述的自动内循环和流量控制的水镀装置，其特征在于，所述第一导流板通过第一导流板轴固定在所述电镀池上，且所述第一导流板绕所述第一导流板轴转动。

5.根据权利要求3所述的自动内循环和流量控制的水镀装置，其特征在于，所述第一导流板的截面呈S形。

6.根据权利要求1所述的自动内循环和流量控制的水镀装置，其特征在于，所述第一内进液管位于所述铜膜与所述第二入池钛蓝之间，所述第一内进液管上设有第一内管喷液孔，所述第一内管喷液孔朝向所述第二入池钛蓝的下侧。

7.根据权利要求1所述的自动内循环和流量控制的水镀装置，其特征在于，所述出池区内还设有第二导流板，所述第二导流板与所述第二外进液管的位置对应，其将所述第二外进液管流出的液体导流至所述第一出池钛蓝处。

8.根据权利要求7所述的自动内循环和流量控制的水镀装置，其特征在于，所述第二导流板通过第二导流板轴固定在所述电镀池上，且所述第二导流板绕所述第二导流板轴转动。

9.根据权利要求7所述的自动内循环和流量控制的水镀装置，其特征在于，所述第二导流板的截面呈S形。

10.根据权利要求1所述的自动内循环和流量控制的水镀装置，其特征在于，所述第二内进液管位于所述铜膜与所述第二出池钛蓝之间，所述第二内进液管上设有第二内管喷液孔，所述第二内管喷液孔朝向所述第二出池钛蓝的下侧。