[实用新型]一种具有双位移的二维精密微动工作台

权利要求书

1.一种具有双位移的二维精密微动工作台，其特征在于：它包括底座（11），所述底座（11）的顶部通过底层片簧组支撑安装有中层工作台（12），所述中层工作台（12）的顶部通过顶层片簧组支撑安装有上层工作台（14），所述中层工作台（12）的侧壁上固定有第一楔形块（4），所述第一楔形块（4）与用于驱动其沿Y向微动的Y向楔形机构相配合；所述上层工作台（14）的侧壁上固定有第二楔形块（9），所述第二楔形块（9）与用于驱动其沿X向微动的X向楔形机构相配合。

2.根据权利要求1所述一种具有双位移的二维精密微动工作台，其特征在于：所述底层片簧组包括第一片簧（6）、第二片簧（10）、第三片簧（16）和第四片簧（17）；所述第一片簧（6）和第二片簧（10）布置在底座（11）和中层工作台（12）的同一侧，所述第三片簧（16）和第四片簧（17）布置在与第一片簧（6）和第二片簧（10）相对的一侧。

3.根据权利要求1所述一种具有双位移的二维精密微动工作台，其特征在于：所述顶层片簧组包括第五片簧（1）、第六片簧（5）、第七片簧（13）和第八片簧（15）；所述第五片簧（1）和第六片簧（5）固定在中层工作台（12）和上层工作台（14）的同一侧，所述第七片簧（13）和第八片簧（15）布置在与第五片簧（1）和第六片簧（5）相对的一侧。

4.根据权利要求1所述一种具有双位移的二维精密微动工作台，其特征在于：所述底层片簧组和顶层片簧组的片簧沿着底座（11）的四边呈相邻布置。

5.根据权利要求1所述一种具有双位移的二维精密微动工作台，其特征在于：所述Y向楔形机构包括第一螺旋测微器（3），所述第一螺旋测微器（3）的测量杆末端连接有用于和第一楔形块（4）相配合的X向移动楔形块（2）构成楔形面配合。

6.根据权利要求1所述一种具有双位移的二维精密微动工作台，其特征在于：所述X向楔形机构包括第二螺旋测微器（8），所述第二螺旋测微器（8）的测量杆末端连接有用于和第二楔形块（9）相配合的Y向移动楔形块（7）构成楔形面配合。

7.根据权利要求1所述一种具有双位移的二维精密微动工作台，其特征在于：所述Y向楔形机构和X向楔形机构呈相邻布置。

8.根据权利要求1所述一种具有双位移的二维精密微动工作台，其特征在于：所述底层片簧组和顶层片簧组的片簧都采用薄弹簧片，在其中间部位设置有加强板。