[实用新型]一种化学气相沉积用导气料柱及化学气相沉积炉

说明书

本实用新型实施例提供了一种化学气相沉积用导气料柱及化学气相沉积炉，所述导气料柱包括同轴设置的多个分体单元和至少一个连接单元，两个相邻的所述分体单元之间通过一个所述连接单元连接，其中，所述分体单元呈筒状；所述分体单元包括多个条状连接块，所述条状连接块沿所述分体单元的周缘方向依次拼接；相邻的所述条状连接块之间设置有填隙物。本实用新型实施例的化学气相沉积用导气料柱可以在保证导气料柱机械强度的同时降低导气料柱的成本。

技术领域

本实用新型涉及碳碳复合材料的制备装置技术领域，尤其涉及一种化学气相沉积用导气料柱及化学气相沉积炉。

背景技术

碳/碳复合材料(carbon-carbon composite material，C/C)是碳纤维及其织物增强的碳基体复合材料，具有低密度(2.0g/cm3)、高强度、高比模量、高导热性、低膨胀系数、摩擦性能好，以及抗热冲击性能好、尺寸稳定性高等优点，已广泛应用于航空、航天、汽车、光伏等多个领域。

C/C复合材料制备的关键技术是碳纤维预制体的致密化—化学气相渗透工艺(chemical vapor infiltration，CVI)。C/C复合材料化学气相沉积炉是CVI工艺的专用设备，是在一定的真空或惰性气氛条件下，利用电阻发热的原理将炉内工件加热到一定温度后通入碳源气体，碳源气体在高温下裂解后产生热解碳，沉积于预制体孔隙达到预制体组织增密的目的。

碳源气体通入化学气相沉积炉时，为了提高碳源气体的利用率，将预制体放置在不同的导气料柱内，导气料柱在沉积炉中阵列放置，预制体在导气料柱内进行化学气相沉积。在沉积过程中碳源气体由管道分别输到不同的导气料柱内，避免碳源气体蔓延到沉积炉炉腔，因此提高了碳源气体利用率。

现有技术中，沉积炉导气料柱多采用石墨料柱和碳纤维卷筒料柱。其中，石墨料柱的机械强度的较低，在多次拆炉、清理、装炉过程中，导气料柱在磕碰、撞击情形下容易产生裂纹破损，而且大直径的石墨料柱制备困难，成本昂贵；碳纤维卷筒料柱由于层间缺乏纤维连接，厚度方向强度不足，也容易产生损坏。破损的导气料柱更换成本高，因此，如何在保证导气料柱机械强度的同时降低导气料柱的成本成为亟待解决的重要问题。

实用新型内容

本实用新型实施例提供一种化学气相沉积用导气料柱及化学气相沉积炉，以解决保证导气料柱机械强度的同时降低导气料柱的成本的问题。

为了解决上述问题，本实用新型是这样实现的：

第一方面，本实用新型实施例提供一种化学气相沉积用导气料柱，包括同轴设置的多个分体单元和至少一个连接单元；

两个相邻的所述分体单元之间通过一个所述连接单元连接，其中，所述分体单元呈筒状；

所述分体单元包括多个条状连接块，所述条状连接块沿所述分体单元的周缘方向依次拼接；

相邻的所述条状连接块之间设置有填隙物。

可选地，所述填隙物为胶黏性填隙物，所述胶黏性填隙物包括以下至少一种：树脂、石墨粉和碳粉。

可选地，所述连接单元为连接环体，所述连接环体的两个端面均设置有插接槽，所述分体单元嵌装于所述插接槽中。

可选地，所述连接环体包括多个连接环，多个所述连接环沿所述连接环体的轴向堆叠；

至少一个所述连接环包括多个弧形条，所述弧形条沿所述连接环的周缘方向拼接；

沿所述连接环体的轴线方向，相邻的所述弧形条的接缝处相互错开。

可选地，所述连接单元包括第一连接单元和第二连接单元，所述第一连接单元和所述第二连接单元分别设置在所述分体单元的两端；