[实用新型]一种直流转换脉冲偏压电源水冷装置

说明书

本实用新型公开了一种直流转换脉冲偏压电源水冷装置，包括外壳和水箱，所述水箱固定在外壳的左侧上端内壁上，所述外壳的左侧中部设置有进风网，所述水箱右侧的外壳内壁上固定有第一毛细管，所述进风网右侧的外壳内壁上固定有第二毛细管，且第一毛细管的左侧和第二毛细管的上端均与水箱的内部连通，外壳的左侧下端内部固定有水泵，第二毛细管的下端与水泵的出口连通。本实用新型通过在外壳的内部上端固定有第一毛细管，并在左侧的进风网右侧的外壳内部固定第二毛细管，第一毛细管吸收设备工作的热量后再流至第二毛细管处，可以由进风网处进入的冷风将第二毛细管内的水较为充分的降温，热量散热较完全的水可以保持较好的水冷效果。

技术领域

本实用新型涉及电源散热技术领域，具体为一种直流转换脉冲偏压电源水冷装置。

背景技术

目前，偏压电源是真空电弧离子镀及其它真空物理气相沉积设备中一个重要组件，在镀膜工艺流程中为工件提供负(或正)偏压，偏压电源工作于二级高频变换模式，单极脉冲方式输出。电源的电压调整通过改变高频变换电路的电源电压来实现，调压电路具有1％的稳率，偏压电源的内部要设置散热装置。

现有技术技术的偏压电源大多采用风冷进行散热，散热的效果不好，而使用水冷散热时，水经过细管吸收热量后再回流进入水箱内，之后再旋环出时水吸收的热量没有完全散出，导致水冷的效果减弱。因此，我们提出一种直流转换脉冲偏压电源水冷装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种直流转换脉冲偏压电源水冷装置，通过在外壳的内部上端固定有第一毛细管，并在左侧的进风网右侧的外壳内部固定第二毛细管，第一毛细管吸收设备工作的热量后再流至第二毛细管处，可以由进风网处进入的冷风将第二毛细管内的水较为充分的降温，热量散热较完全的水可以保持较好的水冷效果，解决了背景技术中所提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种直流转换脉冲偏压电源水冷装置，包括外壳和水箱，所述水箱固定在外壳的左侧上端内壁上，所述外壳的左侧中部设置有进风网；

所述水箱右侧的外壳内壁上固定有第一毛细管，所述进风网右侧的外壳内壁上固定有第二毛细管，且第一毛细管的左侧和第二毛细管的上端均与水箱的内部连通，外壳的左侧下端内部固定有水泵，第二毛细管的下端与水泵的出口连通，第一毛细管的右侧通过导管与水泵的进口连通，所述外壳的右侧中部设置有排风网，排风网左侧的外壳内部固定有风扇。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述水箱的左侧下端连接有出水口，出水口贯穿至外壳外部。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述第一毛细管和第二毛细管均通过管夹固定在外壳的内壁上，导管贴附固定在外壳的后端内壁上。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述水箱的右侧上端连接有加水口，加水口贯穿至外壳上端，且加水口和出水口上均旋接固定有密封盖。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述水泵和风扇均与偏压电源的控制面板电性连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1.本实用新型的直流转换脉冲偏压电源水冷装置，通过在外壳的内部上端固定有第一毛细管，并在左侧的进风网右侧的外壳内部固定第二毛细管，第一毛细管吸收设备工作的热量后再流至第二毛细管处，可以由进风网处进入的冷风将第二毛细管内的水较为充分的降温，热量散热较完全的水可以保持较好的水冷效果。

2.本实用新型的直流转换脉冲偏压电源水冷装置，通过在水箱的左侧下端连接有出水口，出水口贯穿至外壳外部，在需要更换水箱内部的冷却水时，可以方便经过出水口将水箱内部的水排出。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：