[实用新型]一种气体汇总分流器

说明书

一种气体汇总分流器，包括呈圆管状的法兰管和螺旋扰流器，所述法兰管的两端管口分别连接有进气法兰和出气法兰，所述进气法兰上设有一个进气孔，所述进气孔连接有进气管，所述出气法兰上设置有多个相同孔径的出气孔，每个所述出气孔均连接有出气管；所述螺旋扰流器的螺旋盘以所述法兰管的轴线为中心设置于所述法兰管的内腔中，所述螺旋扰流器的螺旋片面布设有若干贯穿的孔洞。本实用新型的气体汇总分流器采用螺旋扰流器可使通入的各种气体充分混合，尾部的出气侧，且可根据需要设置多个相同尺寸的出气孔，使得出气均匀，从而满足了单管给多个分立式夹具进行均匀供气的需求。

技术领域

本实用新型涉及供气技术领域，具体涉及一种气体汇总分流器，以应用于弱光型非晶硅太阳能电池PECVD真空腔体工艺的气体供气系统。

背景技术

随着社会的不断发展，传统能源(包括石油、煤和天然气)的短缺，已经成为限制世界各国经济发展的两大难题。目前在新能源领域，通常采用太阳能电池替代传统能源，太阳能电池又分为晶体硅太阳能电池和非晶硅太阳能电池两大类，虽然晶体硅的太阳能电池发展比较成熟，但由于受材料和工艺的限制，很难达到预期效果。而非晶硅太阳能电池愈发得到世界各国的重视，非晶硅太阳电池是一种典型的薄膜器件，在非晶硅太阳能生产中一般采用PECVD(等离子增强型化学气相沉积)方法使高纯硅烷等气体分解沉积而成的此种制作工艺，其可以连续在多个真空沉积室完成，以实现大批量生产。

由于沉积分解温度低，可在玻璃、不锈钢板、陶瓷板、柔性塑料片上沉积薄膜，而这种沉积薄膜方式需要用到多种气体，且对气体混合后的要求较高，现有技术中弱光型非晶硅太阳能电池工艺气体的进气方式通常为单管供气，单管供气应用于集成夹具没有问题，但如果是分立式夹具，单管供气就不能满足。

现有技术一般通过单管给各分立式夹具供气，而各分立式夹具分别连接于单管供气管路的不同位置，从而会使得各分立式夹具的供气量各不相同。另外，由于工艺气体为多种气体的混合气体，各种气体从各自的气瓶出来后只能在直径为6mm的管道中混合，而不长的供气管路无法让各种气体充分混合。

现有技术中，还可通过单管给各分立式夹具供气的气路中，采用在各分立式夹具前端加装MFC(质量气体流量控制器)来解决各路气体供气分配不均的问题。然而，虽然气体分配问题得到了解决，但气体混合不充分的问题依然未得到很好地解决。

实用新型内容

本实用新型为了解决现有技术存在的上述问题，提供了一种出气均匀，且气体混合均匀的气体汇总分流器。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种气体汇总分流器，包括呈圆管状的法兰管和螺旋扰流器，所述法兰管的两端管口分别连接有进气法兰和出气法兰，所述进气法兰上设有一个进气孔，所述进气孔连接有进气管，所述出气法兰上设置有多个相同孔径的出气孔，每个所述出气孔均连接有出气管；所述螺旋扰流器的螺旋盘以所述法兰管的轴线为中心设置于所述法兰管的内腔中，所述螺旋扰流器的螺旋片面布设有若干贯穿的孔洞，且所述孔洞按5mm*5mm均布于所述螺旋扰流器的螺旋片面上，所述孔洞的孔径为1mm。

作为本实用新型的进一步优选技术方案，所述进气法兰和所述出气法兰分别焊接于所述法兰管的两端管口，所述进气管焊接于所述进气孔，所述出气管焊接于所述出气孔。

作为本实用新型的进一步优选技术方案，所述进气孔设置于所述进气法兰的中心，所述出气孔于所述出气法兰上且均匀分布于以所述出气法兰的中心为圆心的同一圆周上。

作为本实用新型的进一步优选技术方案，所述出气孔的数量为六个，六个出气孔连接有六个出气管，且所有出气管的管径均相同。

作为本实用新型的进一步优选技术方案，所述法兰管的长度为200mm，内径为150mm，所述螺旋扰流器的外径为149mm。

本实用新型的气体汇总分流器，通过采用上述技术方案，可以达到如下有益效果：