[实用新型]催化剂回流高效率有机废气处理系统

说明书

一种催化剂回流高效率有机废气处理系统，主要是将由该吸附转轮的脱附区所排出的脱附浓缩气体通过该吸附反应床将含硅的化合物反应成为二氧化硅(SiO₂)并吸附，再进入该催化剂床进行处理后，再将经过该催化剂床处理的气体进行热回收，以及将经过该催化剂床处理的气体导回至该吸附转轮的废气进气管路，使经过该催化剂床处理的气体进入该吸附转轮的吸附区循环利用，而不经过该烟囱来进行排放，让该烟囱的排放量降低，并使有机废气的处理效率提升。

技术领域

本实用新型涉及一种催化剂回流高效率有机废气处理系统，尤其涉及一种用来将经过该催化剂床处理的气体进入该吸附转轮的吸附区循环利用，而不经过该烟囱来进行排放，让该烟囱的排放量降低，并使有机废气的处理效率提升，而适用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的有机废气处理系统或类似设备。

背景技术

目前在半导体产业或光电产业的制造生产过程中都会产生具有挥发性有机气体(VOC)，因此，在各厂区都会安装处理挥发性有机气体(VOC)的处理设备，以避免挥发性有机气体(VOC)直接排入空气中而造成空气污染。而目前经由该处理设备所脱附的浓缩气体大都是输送到该焚烧炉来进行燃烧，再将燃烧后的气体来输送到烟囱来进行排放。

因此，本创作人有鉴于上述缺失，期望能提出一种具有提升有机废气处理效率的催化剂回流高效率有机废气处理系统，令使用者可轻易操作组装，于是潜心研究思考、设计组装制造，以提供使用者便利性，为本创作人所欲研发的创作动机。

实用新型内容

本实用新型的主要目的，在于提供一种催化剂回流高效率有机废气处理系统，主要是将由该吸附转轮的脱附区所排出的脱附浓缩气体通过该吸附反应床将含硅的化合物反应成为二氧化硅(SiO₂)并吸附，再进入该催化剂床进行处理后，再将经过该催化剂床处理的气体进行热回收，以及将经过该催化剂床处理的气体导回至该吸附转轮的废气进气管路，使经过该催化剂床处理的气体进入该吸附转轮的吸附区循环利用，而不经过该烟囱来进行排放，让该烟囱的排放量降低，并使有机废气的处理效率提升，进而增加整体的实用性。

本实用新型的另一目的，在于提供一种催化剂回流高效率有机废气处理系统，且通过该催化剂床处理的气体先经由该第一热交换器进行热交换后再输送到该第二热交换器来进行热交换，并经过一除尘设备或是一滤网装置来进行粉尘的过滤，让该催化剂床处理的气体除了导回该吸附转轮的废气进气管路外，也用来提供给该第一热交换器及该第二热交换器进行热交换，以便具有节省能源的效能，进而增加整体的使用性。

本实用新型的再一目的，在于提供一种催化剂回流高效率有机废气处理系统，且通过该催化剂床处理的气体先经由该冷却器进行高温热气的降温后再输送到该第二热交换器来进行热交换，并经过一除尘设备或是一滤网装置来进行粉尘的过滤，让该催化剂床处理的气体除了导回该吸附转轮的废气进气管路外，也用来提供给该第二热交换器进行热交换，以便具有节省能源的效能，进而增加整体的便利性。

为了能够更进一步了解本实用新型的特征、特点和技术内容，请参阅以下有关本实用新型的详细说明与附图，惟所附附图仅提供参考与说明用，非用以限制本实用新型。

附图说明

图1为本实用新型第一种实施方式的主要架构示意图；

图2为本实用新型第一种实施方式设有除尘设备的架构示意图；

图3为本实用新型第一种实施方式设有滤网装置的架构示意图；

图4为本实用新型第二种实施方式的主要架构示意图；

图5为本实用新型第二种实施方式设有除尘设备的架构示意图；

图6为本实用新型第二种实施方式设有滤网装置的架构示意图。

上述附图中，附图标记含义如下：