[实用新型]一种二维高精度微调电动滑台

权利要求书

1.一种二维高精度微调电动滑台，包括中间板，在中间板的上下表面分别设有滑轨组，上下表面的滑轨组垂直交叉设置，在各自的滑轨组上分别固定滑板，滑板通过驱动装置能够沿各自的滑轨组自由滑动；所述驱动装置包括两套，其在中间滑板的上下表面上垂直交叉设置，驱动装置包括与滑动方向平行设置的丝杠，丝杠与步进电机连接，丝杠上设有丝杠螺母，丝杠螺母与滑板之间通过连接块连接固定。

2.根据权利要求1所述的一种二维高精度微调电动滑台，其特征在于：驱动装置还包括与中间板表面固定的支撑轴承，支撑轴承为两支，丝杠穿过支撑轴承由支撑轴承支撑与中间板形成连接，丝杠的一端与步进电机之间通过联轴器连接固定。

3.根据权利要求2所述的一种二维高精度微调电动滑台，其特征在于：所述支撑轴承、步进电机与中间板通过L型固定座连接。

4.根据权利要求1所述的一种二维高精度微调电动滑台，其特征在于：所述中间板上下表面的驱动装置分别安装在中间板的侧部。

5.根据权利要求1或2所述的一种二维高精度微调电动滑台，其特征在于：所述丝杠上设有丝杠螺母固定块，丝杠螺母固定块设有轴孔，丝杠螺母与丝杠螺母固定块的轴孔同轴连接固定，丝杠穿过丝杠螺母的螺孔及丝杠螺母固定块的轴孔，丝杠与丝杠螺母的螺孔螺纹配合，所述连接块固定在丝杠螺母固定块上。