[实用新型]一种硅烷混合气体回收处理系统

权利要求书

1.一种硅烷混合气体回收处理系统，其特征在于：包括经管道相互连接的回收罐、燃烧室、喷淋单元、粉尘收集器和尾气放空单元；所述回收罐包括内胆、压力表、温度计和换热盘管，所述回收罐的硅烷混合气入口与所述内胆相连，所述内胆位于回收罐的中部，所述内胆外设有外壳体，外壳体与内胆之间为真空状态，所述硅烷混合气入口处设有调压阀，所述换热盘管分别与液氮入口和气氮出口相连，所述回收罐气体出口设有单向阀并与所述燃烧室气体入口相连。

2.根据权利要求1所述的一种硅烷混合气体回收处理系统，其特征在于： 所述燃烧室的底部设有水池和排污口，中部设有气体分布器、补水口、用于观察和将空气引入燃烧室的观察口；所述燃烧室气体入口与回收罐气体出口相连并插入到底部水池液面以下，形成液封，所述燃烧室气体入口的末端与气体分布器相连。

3.根据权利要求1所述的一种硅烷混合气体回收处理系统，其特征在于：所述喷淋单元包括喷淋管和循环水泵，所述喷淋管安装在燃烧室的顶部，喷淋管上设置有喷淋嘴，所述循环水泵入口与燃烧室底部水池相连，循环水泵出口与喷淋管相连。

4.根据权利要求1所述的一种硅烷混合气体回收处理系统，其特征在于：所述粉尘收集器包括布袋，所述布袋的下部连接有用来储存硅烷混合气体中粉尘二氧化硅的收集桶，所述布袋通过尾气输送管道与燃烧室气体出口相连。

5.根据权利要求1所述的一种硅烷混合气体回收处理系统，其特征在于：所述尾气放空单元包括风机，所述风机的一端与尾气输送管道相连，另一端与放空烟囱相连。