[实用新型]一种光学真空镀膜用抽气装置

权利要求书

1.一种光学真空镀膜用抽气装置，包括镀膜机箱（1），其特征在于：所述镀膜机箱（1）的一侧设有可视窗（4），所述镀膜机箱（1）的一端设有冷凝箱（7），另一端设有加热器（8），所述镀膜机箱（1）的底端四个侧面均焊接有插板（10），所述镀膜机箱（1）的顶端安装有抽气箱（6），所述抽气箱（6）上连接有若干个输气管（23），所述镀膜机箱（1）的四个拐角均焊接有镀膜机箱固定架（9），所述镀膜机箱固定架（9）的底端连接有液压缸（3），所述液压缸（3）固定在底座（2）上，所述底座（2）的底端四个拐角处均焊接有支撑腿（13），所述底座（2）的两端均设有液压制动箱（5），所述底座（2）顶端中部的四个侧面均焊接有橡胶气囊固定钢板（11），所述橡胶气囊固定钢板（11）上安装有橡胶气囊（12），所述底座（2）的顶端中部设有连接杆（19），所述连接杆（19）上焊接有若干个托盘（18），所述连接杆（19）的底端设有齿轮箱（20），所述齿轮箱（20）的底端设有电机（21），所述底座（2）的底部安装有微型气泵（15），所述底座（2）的一侧设有抽真空装置（22），所述抽真空装置（22）的一侧设有控制柜（17），所述抽真空装置（22）上设有增压泵（24）、机械泵（25）、扩散泵（26）和罗茨泵（27）。

2.根据权利要求1所述的一种光学真空镀膜用抽气装置，其特征在于：所述液压缸（3）通过螺栓固定在所述底座（2）的顶端四个拐角处，所述液压缸（3）与所述镀膜机箱固定架（9）通过螺栓固定相连。

3.根据权利要求1所述的一种光学真空镀膜用抽气装置，其特征在于：所述液压制动箱（5）通过螺栓固定在所述底座（2）上，所述液压制动箱（5）内设有液压油泵和液压油箱，所述液压油泵通过液压油管分别与所述液压油箱和所述液压缸（3）相连。

4.根据权利要求1所述的一种光学真空镀膜用抽气装置，其特征在于：所述抽真空装置（22）通过所述输气管（23）与所述抽气箱（6）相连，所述抽气箱（6）焊接在所述镀膜机箱（1）的顶部上，所述冷凝箱（7）和加热器（8）均通过螺栓固定在所述镀膜机箱（1）上，所述冷凝箱（7）内设有水箱、冷凝器和冷凝管。

5.根据权利要求1所述的一种光学真空镀膜用抽气装置，其特征在于：所述齿轮箱（20）通过螺栓固定在所述底座（2）的底部上，所述电机（21）与所述齿轮箱（20）通过螺栓固定相连，所述电机（21）的转轴与所述齿轮箱（20）内的齿轮啮合相连，所述连接杆（19）与所述齿轮箱（20）固定相连。

6.根据权利要求1所述的一种光学真空镀膜用抽气装置，其特征在于：所述微型气泵（15）通过螺栓固定在所述底座（2）上，所述微型气泵（15）通过输气管与所述橡胶气囊（12）相连，所述橡胶气囊（12）固定在所述橡胶气囊固定钢板（11）上。

7.根据权利要求1所述的一种光学真空镀膜用抽气装置，其特征在于：所述镀膜机箱（1）上的镀膜机箱插板（10）与所述底座（2）上的橡胶气囊固定钢板（11）活动相连，所述镀膜机箱（1）的背面安装有若干个电子枪（14），所述电子枪（14）上设有正负两极。

8.根据权利要求1所述的一种光学真空镀膜用抽气装置，其特征在于：所述底座（2）上设有电源开关（16），所述电源开关（16）分别与所述液压制动箱（5）、电机（21）和微型气泵（15）电性连接，所述控制柜（17）分别与所述冷凝箱（7）、加热器（8）、增压泵（24）、机械泵（25）、扩散泵（26）和罗茨泵（27）电性连接。