[实用新型]一种封装模块翘曲变形及缺陷立体在线监测装置

权利要求书

1.一种封装模块翘曲变形及缺陷立体在线监测装置，其特征在于，包括：投影云纹模块、超声波模块、监测分析模块；

所述监测分析模块分别与所述投影云纹模块、所述超声波模块相连。

2.根据权利要求1所述的封装模块翘曲变形及缺陷立体在线监测装置，其特征在于，所述投影云纹模块包括：CCD相机、光栅投影仪；

所述光栅投影仪用于投射光栅至待测封装模块样品表面；

所述CCD相机用于对所述待测封装模块样品表面的光栅变化进行连续拍摄采集，获得第一翘曲信息。

3.根据权利要求2所述的封装模块翘曲变形及缺陷立体在线监测装置，其特征在于，所述投影云纹模块还包括：第一同步触发器；

所述CCD相机为多个CCD相机组成的CCD相机阵列；所述CCD相机阵列与所述第一同步触发器连接；

所述光栅投影仪为多个光栅投影仪组成的光栅投影仪阵列。

4.根据权利要求1所述的封装模块翘曲变形及缺陷立体在线监测装置，其特征在于，所述超声波模块包括：空气耦合超声波探头、超声波信号发射接收器、前置放大器；

所述空气耦合超声波探头与所述超声波信号发射接收器连接，所述超声波信号发射接收器与所述前置放大器连接，所述前置放大器与所述监测分析模块连接。

5.根据权利要求4所述的封装模块翘曲变形及缺陷立体在线监测装置，其特征在于，所述超声波模块还包括：第二同步触发器；

所述空气耦合超声波探头为多个空气耦合超声波探头组成的阵列式空气耦合超声波探头组；所述阵列式空气耦合超声波探头组与所述第二同步触发器连接。

6.根据权利要求1所述的封装模块翘曲变形及缺陷立体在线监测装置，其特征在于，所述监测分析模块包括：数据存储装置、数据分析装置、监测显示装置。

7.根据权利要求1所述的封装模块翘曲变形及缺陷立体在线监测装置，其特征在于，还包括：光学三维测量标定器；

所述光学三维测量标定器用于对相机进行内参、外参、高度标定。

8.根据权利要求1所述的封装模块翘曲变形及缺陷立体在线监测装置，其特征在于，还包括：平面安置台；

待测封装模块样品放置在所述平面安置台上。