[实用新型]一种差动式电容多维力传感器有效
| 申请号： | 201921738911.9 | 申请日： | 2019-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN210981614U | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 蒲明辉;胡世通;潘海鸿;王奉阳;陈琳;梁旭斌 | 申请（专利权）人： | 广西大学 |
| 主分类号： | G01L5/165 | 分类号： | G01L5/165;G01L1/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 530004 广西壮族*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 差动 电容 多维 传感器 | ||
1.一种差动式电容多维力传感器，其特征在于：它至少包括传感器主体(1)、下感应层(2)、PCB板(3)、上感应层(4)；所述传感器主体(1)至少包括变形梁(5)、传感器外壁(6)以及PCB板安装台(7)；所述变形梁(5)一端连接于传感器主体主体中心圆盘(8)外侧，另一端连接于传感器外壁(6)内侧，呈轮辐式分布；所述传感器外壁(6)上开有走线孔(9)；所述PCB板安装台(7)设置于传感器外壁(6)内侧；所述下感应层(2)、上感应层(4)通过螺钉连接于传感器主体(1)的主体中心圆盘(8)上；所述PCB板(3)安装于PCB板安装台(7)上。
2.根据权利要求1所述的一种差动式电容多维力传感器，其特征在于：所述下感应层(2)上有下平行板电容动电极(10)，一端固定连接于下感应层中心圆盘(11)外侧，另一端悬空。
3.根据权利要求2所述的一种差动式电容多维力传感器，其特征在于：所述PCB板(3)至少包括下平行板电容静电极(12)、上平行板电容静电极(13)、左垂直型电容静电极(14)、右垂直型电容静电极(15)以及PCB板安装孔(16)。
4.根据权利要求3所述的一种差动式电容多维力传感器，其特征在于：所述上感应层(4)至少包括上平行板电容动电极(17)、垂直型电容动电极(18)，其均为一端固定连接于上感应层中心圆盘(19)外侧，另一端悬空。
5.根据权利要求4所述的一种差动式电容多维力传感器，其特征在于：所述下平行板电容动电极(10)及上平行板电容动电极(17)关于PCB板(3)对称分布且都与PCB板(3)保持一定间隙，并与PCB板(3)上的下平行板电容静电极(12)及上平行板电容静电极(13)形成差动式结构平行电极型电容器(20)；所述左垂直型电容静电极(14)和右垂直型电容静电极(15)关于垂直型电容动电极(18)对称分布，且都与垂直型电容动电极(18)保持一定间隙，形成差动式结构垂直电极型电容器(21)。
6.根据权利要求5所述的一种差动式电容多维力传感器，其特征在于：所述差动式结构平行电极型电容器(20)，当下平行板电容动电极(10)与下平行板电容静电极(12)的距离改变Δd时，上平行板电容动电极(17)与上平行板电容静电极(13)的距离改变-Δd，并以电容量差值C1-C2作为输出信号；
所述差动式结构垂直电极型电容器(21)，当左垂直型电容静电极(14)与垂直型电容动电极(18)距离改变Δh时，右垂型电容静电极(15)与垂直型电容动电极(18)的距离改变-Δh，并以电容量差值C3-C4作为输出信号。
7.根据权利要求1所述的一种差动式电容多维力传感器，其特征在于：采用了两种差动式结构电容器。
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