[实用新型]一种用于X射线电子能谱的样品分析面调平装置

说明书

本实用新型涉及一种用于X射线电子能谱的样品分析面调平装置，包括底板、至少三个夹持杆、设于夹持杆一端的硅片夹持球、用于调整夹持杆周向位移的周向组件和用于调整周向组件沿夹持杆轴向方向位移的轴向组件，其中各夹持杆于底板上表面的竖直方向上的投影延长线相交于同一点，所述硅片夹持球的外球面由多个平面拼接而成，能够确保样品分析面处于水平面状态，从而提高检测的准确性。

技术领域

本实用新型涉及一种测量辅助装置技术领域，尤其涉及一种用于X射线电子能谱的样品分析面调平装置。

背景技术

X射线光电子能谱分析(X-ray photoelectron spectroscopy, XPS)是用X射线去辐射样品，使原子或分子的内层电子或价电子受激发射出来。被光子激发出来的电子称为光电子，可以测量光电子的能量，以光电子的动能为横坐标，相对强度(脉冲/s)为纵坐标可做出光电子能谱图，从而获得待测物组成。

一般将样品通过碳胶固定于放置平台上，以便于对样品上的分析面进行X射线光电子能谱分析。

现有技术的不足之处在于，当样品底面(即样品与碳胶的粘结面)为非平面或为斜面时，会导致样品的分析面为非平面(水平面)，XPS在分析时将无法准确收到表面讯号，或受其他讯号干扰，从而造成分析数据的失真。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种用于X射线电子能谱的样品分析面调平装置，能够确保样品分析面处于水平面状态，从而提高检测的准确性。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种用于X射线电子能谱的样品分析面调平装置，包括底板、至少三个夹持杆、设于夹持杆一端的硅片夹持球、用于调整夹持杆周向位移的周向组件和用于调整周向组件沿夹持杆轴向方向位移的轴向组件，其中各夹持杆于底板上表面的竖直方向上的投影延长线相交于同一点，所述硅片夹持球的外球面由多个平面拼接而成。

采用上述技术方案，三个硅片夹持球上共同夹持样品的夹持面，通过硅片夹持球上的平面抵靠于样品的夹持面上以起到夹持作用，轴向组件可以实现周向组件的轴向方向的位移，从而带动周向组件上的夹持杆沿轴向方向的位移，从而三个夹持杆共同作用能够满足对不同体积大小的样品的夹持需求，这是第一个维度的调整，周向组件可以调整夹持杆周向位移，调整硅片夹持球的平面的角度，从而通过尝试硅片夹持球上的不同平面与样品的夹持效果，以确保能够稳固夹持样品并使样品的分析面尽可能保持水平面状态，从而实现对不规则形状的样品夹持面的夹持，这是第二个维度的调整，二者相结合，能够满足不同体积大小和不规则形状的样品的夹持需求，使样品的分析面不受不规则夹持面的影响并确保样品的分析面能够保持水平面状态，从而提高检测的准确性；同时夹持球的材质为单晶硅，增加样品容导电性，使原本容易造成电荷累积的样品，有其他可以导通电荷的管道。

本实用新型进一步设置为：所述轴向组件包括铰接管，所述铰接管的一端与底板铰接连接，所述周向组件包括转动杆，所述转动杆的一端插设于铰接管内，且与铰接管螺纹连接。

采用上述技术方案，通过旋动转动杆即可实现转动杆沿轴向方向位移，从而调整夹持杆沿轴向方向的位移，从而三个夹持杆共同作用能够满足对不同体积大小的样品的夹持需求；铰接管与底板的铰接连接，可以实现夹持杆相对底板的转动，从而提高硅片夹持球上的平面的角度调整多样性。

本实用新型进一步设置为：所述转动杆远离铰接管的一端开设有供所述夹持杆一端插设的转动孔，所述夹持杆与所述转动杆转动连接。

采用上述技术方案，可以实现夹持杆沿周向方向的位置改变，从而调整硅片夹持球的平面的角度，以实现对不规则形状的样品夹持面的夹持。

本实用新型进一步设置为：所述转动孔的内壁开设有若干个环形的放置槽，各所述放置槽沿转动杆轴向等距排布，所述放置槽内放置有橡胶圈。