[实用新型]一种集成超声波分散功能的抛光液搅拌装置

说明书

本实用新型公开了一种集成超声波分散功能的抛光液搅拌装置，其结构包括罐体、顶盖、电机、搅拌桨、进料管、超声波发生器、导线、第一密封圈、超声波发射杆、导管、抽取软管、输送泵和输出软管，本实用新型通过在搅拌罐的外壳安装了一个超声波发生器，且在搅拌罐内壁上安装了一个超声波发射杆，超声波发生器通过导线贯穿搅拌罐连接至超声波发射杆，通过超声波发生器控制对超声波发射杆进行控制，使超声波发射杆发射超声波，且超声波发射杆安装与距离搅拌罐内部底端三厘米，便于对搅拌罐内部的抛光液产生超声波，通过超声波发射杆对抛光液产生超声波增加抛光液内细微颗粒的分散效果，进而增加抛光液的搅拌效果。

技术领域

本实用新型涉及抛光液搅拌设备技术领域，具体涉及一种集成超声波分散功能的抛光液搅拌装置。

背景技术

半导体材料是一类具有半导体性能(导电能力介于导体与绝缘体之间，电阻率约在1mΩ·cm～1GΩ·cm范围内)、可用来制作半导体器件和集成电路的电子材料，在半导体材料的生产过程中需要通过抛光器进行抛光处理，在对半导体材料进行抛光时需要使用抛光液，以增加半导体材料的抛光效果，在抛光液的使用前需要通过搅拌装置对其进行搅拌。

传统的抛光液在搅拌装置内只通过搅拌桨进行搅拌，但搅拌桨搅拌只适用于中大型颗粒搅拌，不便于对于细微的颗粒进行搅拌，导致细微颗粒分散效果差。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

为了克服现有技术不足，现提出一种集成超声波分散功能的抛光液搅拌装置，解决了传统的抛光液在搅拌装置内只通过搅拌桨进行搅拌，但搅拌桨搅拌只适用于中大型颗粒搅拌，不便于对于细微的颗粒进行搅拌，导致细微颗粒分散效果差的问题。

(二)技术方案

本实用新型通过如下技术方案实现：本实用新型提出了一种集成超声波分散功能的抛光液搅拌装置，包括罐体、顶盖、电机、搅拌桨、进料管、超声波发生器、导线、第一密封圈、超声波发射杆、导管、抽取软管、输送泵和输出软管，所述罐体顶端通过螺栓与顶盖相互锁固，所述顶盖顶端中部安装有电机，所述电机底部的输出轴贯穿顶盖与搅拌桨相互焊接，所述顶盖顶端左侧与进料管进行螺纹连接，且进料管底部伸入至顶盖内部，所述罐体左侧通过螺栓与超声波发生器相互锁固，所述超声波发生器顶部连接有导线，所述导线贯穿罐体伸入至罐体内与超声波发射杆进行连接，且导线与罐体连接处设置有第一密封圈，所述超声波发射杆左侧与通过螺栓与罐体相互锁固，所述罐体右端顶部与导管进行连接，所述导管右端通过接管器与抽取软管进行锁固，所述输送泵左右两端分别设置有抽取端和输出端，且抽取端和输出端分别与抽取软管和输出软管进行连接，所述超声波发生器和超声波发射杆分别与导线电连接。

进一步的，所述超声波发射杆由换能器、第二密封圈、安装板、变幅器和超声波发射头组成，所述换能器左侧与安装板相互焊接，所述换能器底部安装有变幅器，所述变幅器底部安装有超声波发射头，所述导线右端与贯穿第二密封圈与换能器进行连接，所述导线和变幅器分别与换能器电连接，所述安装板左端通过螺栓与罐体内壁相互锁固。

进一步的，所述导管呈倒L状，且左侧底端伸入至罐体内部底端。

进一步的，所述第一密封圈外侧与罐体贴合，且第一密封圈内壁与导线贴合。

进一步的，所述安装板前后两侧均开设有螺纹孔，且螺纹孔设置有四个。

进一步的，所述超声波发射杆底部安装至距离罐体内部底端壁三厘米的位置上，且超声波发射杆顶部的第二密封圈内壁与导线贴合束缚。

进一步的，所述超声波发生器上设置有电源开关、调节开关以及显示器。

(三)有益效果

本实用新型相对于现有技术，具有以下有益效果：