[实用新型]一种低温气体供应系统

权利要求书

1.一种低温气体供应系统，其特征在于，包括：低温储罐、气化器、缓冲罐和旁通管道，所述低温储罐用于盛装低温液体；

所述低温储罐的出口通过第一管道与所述气化器的入口连通，所述气化器的出口通过第二管道与所述缓冲罐的下部连通；

所述旁通管道的一端与所述第一管道连通，所述旁通管道的另一端与所述缓冲罐的上部连通；

所述旁通管道上装设有第一流量调节部件，所述第二管道上装设有第二流量调节部件，所述缓冲罐上设置有低温气体出口。

2.根据权利要求1所述的低温气体供应系统，其特征在于，所述缓冲罐的上部内侧布置有雾化装置，所述雾化装置与所述旁通管道连接。

3.根据权利要求1或2所述的低温气体供应系统，其特征在于，所述缓冲罐的下部内侧布置有风机，所述风机与所述第二管道的出气口对接。

4.根据权利要求3所述的低温气体供应系统，其特征在于，还包括：增压泵和截止阀，所述增压泵和截止阀沿着所述低温液体的流动方向依次装设在所述第一管道上；

所述旁通管道与所述第一管道的连接处位于所述截止阀和所述气化器之间。

5.根据权利要求1所述的低温气体供应系统，其特征在于，还包括：温度检测部件、压力检测部件和控制部件，所述温度检测部件和所述压力检测部件均与所述控制部件连接，所述温度检测部件和所述压力检测部件均布置在所述缓冲罐内部；

所述第一流量调节部件和第二流量调节部件均与所述控制部件连接。

6.根据权利要求1或5所述的低温气体供应系统，其特征在于，所述第一流量调节部件和第二流量调节部件均为流量控制阀。

7.根据权利要求5所述的低温气体供应系统，其特征在于，还包括无线传输模块，所述无线传输模块与所述控制部件连接，用于实现所述控制部件与外部设备的通信连接。

8.根据权利要求1所述的低温气体供应系统，其特征在于，所述气化器为空温式气化器、循环热水气化器、蒸汽加热水气化器或电加热气化器。

9.根据权利要求3所述的低温气体供应系统，其特征在于，所述风机为离心式风机或轴流式风机。

10.根据权利要求3所述的低温气体供应系统，其特征在于，缓冲罐内的气体温度范围为-100～-190℃，压力范围为2～70bar，流量范围为0～100000Nm³/h。