[实用新型]一种光学薄膜测厚仪

说明书

本实用新型公开了一种光学薄膜测厚仪，包括测厚仪本体，所述测厚仪本体上设置有减震支撑机构，所述测厚仪本体上设置有防尘机构，通过测厚仪本体、减震支撑机构和防尘机构构成本实用新型的主体结构，其中测厚仪本体为光学精密仪器，减震支撑机构第一支撑弹簧、第二支撑弹簧和支撑座在套座内滑动可以调节并吸收外界振动，减少外界振动对测厚仪本体的破坏，防尘机构可左右滑动，方便使用测厚仪本体并对其进行防尘处理，其中防尘挡板、防尘侧板、防尘上板和活动防尘板共同组成防尘组件，并通过门母扣与门子扣扣合，门栓进行固定，将测厚仪本体上部元件完全包裹，减少灰尘沉积在测厚仪本体上，保证测量的精准性。

技术领域

本实用新型涉及精密测量仪器技术领域，具体领域为一种光学薄膜测厚仪。

背景技术

多层透明薄膜的厚度测量，其测量对象是微米级或纳米级的物理量-位移，广泛应用于集成电路、电化学传感器、航天、国防、医疗卫生、通信、质检等领域。例如，医院检验科、水质监测站、游泳池甚或饮料厂使用的酸碱度分析仪，其选择性离子电极传感器由七层透明的敏感膜组成，每一层敏感膜的标称厚度为1um，当厚度公差超过20nm时，离子电极传感器的线性度急剧下降，甚至报废。在制造或质检过程中，必须实施测量或校验薄膜的厚度。此外，在液晶、柔性薄膜、汽车、超大规模集成电路、医疗假体等材料制造领域，多层透明薄膜的厚度测量都有广泛的应用。

薄膜测厚仪一般分为接触式和非接触式两大类，前者采用触针与样品直接接触，触针偏移原点的位移即薄膜的厚度，因表面光洁度、接触压力、残余应力的影响，致使测量精度只能达到10微米级；后者多采用电感电容谐振测量法，在薄膜和极板之间构成变介质型电容器，与耦合式电感电桥或二极管电桥、调制、解调电路构成谐振、信号处理和信号传输电路，按谐振频率的频谱特性间接测量介质的变化，从而测量薄膜的厚度，具有成本高昂、耐候性较差、线性度较低等不足。

由于薄膜测厚仪是精密的光学仪器，灰尘对仪器的精密度产生影响，若防尘效果不当，影响测量结果，为此，我们提出一种光学薄膜测厚仪。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种光学薄膜测厚仪，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种光学薄膜测厚仪，包括测厚仪本体，所述测厚仪本体上设置有减震支撑机构，所述测厚仪本体上设置有防尘机构；

所述减震支撑机构包括四个支撑座，四个所述支撑座分别位于所述测厚仪本体的下表面四角处，所述支撑座的侧壁底部滑动设置有套座，所述套座的下表面设置有地块，所述地块的上表面设置有第一支撑弹簧的一端，所述第一支撑弹簧的另一端与所述测厚仪本体相连，所述第一支撑弹簧套设在所述套座和所述支撑座上，所述支撑座的下表面与所述地块的上表面之间且位于所述套座内设置有第二支撑弹簧，所述测厚仪本体的下表面四角处设置有外套环，所述外套环套设于所述第一支撑弹簧外侧；

所述防尘机构包括对称设置的第一滑槽，对称设置的第一滑槽分设于所述测厚仪本体的上表面前后两端，所述第一滑槽内滑动设置有防尘挡板，前后两侧所述防尘挡板的左表面之间设置有防尘侧板，前后两侧所述防尘挡板的上表面之间设置有防尘上板，所述防尘上板上通过铰接件设置有活动防尘板，所述活动防尘板的侧壁通过铰接件设置有门子扣，所述防尘挡板的侧壁顶部和右部均设置有门母扣和门栓，所述门子扣与所述门母扣相适配。

优选的，所述外套环与所述地块不接触。

优选的，所述地块的下表面设置有橡胶垫。

优选的，所述第一滑槽上对称设置有第二滑槽，所述第二滑槽内滑动设置有限位块，所述限位块与所述防尘挡板相连。

优选的，所述第一滑槽的深度大于所述第二滑槽的深度，所述第一滑槽的长度大于所述第二滑槽的长度。

优选的，所述防尘侧板与所述活动防尘板的长度相等，所述防尘侧板的长度小于所述防尘挡板的长度。