[实用新型]一种硅片孔洞检测装置及硅片分选设备

说明书

本实用新型提供了一种硅片孔洞检测装置及硅片分选设备，硅片孔洞检测装置包括机架及安装在机架上的第一检测组件和第二检测组件，第一检测组件和第二检测组件之间保持有供待检测硅片通过的检测通道；在待检测硅片沿预定传输方向自检测通道通过时，第一检测组件被配置为检测待检测硅片的第一表面，第二检测组件被配置为检测待检测硅片的第二表面；第一检测组件和第二检测组件均包括检测机构和补光机构，补光机构被配置为照射待检测硅片的被测表面以实现补光，光线经待检测硅片的被测表面反射至检测机构以实现对被测表面的检测。通过设置两组带有补光机构的硅片检测组件，本实用新型提高了对硅片表面细小孔洞及半穿孔的检出率，进而提高了检测效率。

技术领域

本实用新型属于硅片检测领域，尤其涉及一种硅片孔洞检测装置及硅片分选设备。

背景技术

在太阳能电池组件的制作工艺中，硅片的表面检测是非常重要的一环。因为硅片在生产的过程中经常会出现裂痕、孔洞等缺陷。存在这些缺陷的硅片都是不合格的，硅片表面是否合格直接影响到产品制作过程中后面工序的制作。因此为防止不合格的硅片进入后续流程需要对硅片进行表面检测。

目前，一般采用检测装置获取硅片在环境光线下的表面图像，然后通过分析表面图像来判断硅片是否存在表面缺陷，但是由于环境光线的强度较低，对于一些细小孔洞以及未贯穿硅片的半穿孔，现有的检测装置的检出率偏低。此外，现有的检测装置一般无法实现对硅片的两个表面的检测，其检测效率偏低。

实用新型内容

针对现有的检测装置难以实现对细小孔洞及半穿孔进行有效检测的缺陷，本实用新型第一方面提供了一种硅片孔洞检测装置，其技术方案如下：

一种硅片孔洞检测装置，包括机架及安装在机架上的第一检测组件和第二检测组件，第一检测组件和第二检测组件之间保持有供待检测硅片通过的检测通道；在待检测硅片沿预定传输方向自检测通道通过时，第一检测组件被配置为检测待检测硅片的第一表面，第二检测组件被配置为检测待检测硅片的第二表面；第一检测组件和第二检测组件均包括检测机构和补光机构，所述第一检测组件和所述第二检测组件均包括检测机构和补光机构，其中，对于每组检测组件：所述补光机构被配置为照射待检测硅片的被测表面以实现补光，光线经待检测硅片的被测表面反射至所述检测机构以实现对待检测硅片的被测表面的检测。

通过设置两组检测组件，本实用新型实现对待测硅片的两个相对表面的同步检测。此外，每组检测机构中均设置有用于对待测硅片的被测表面进行补光的补光机构，通过补光机构的补光，待测硅片的被测表面的光照度得到显著提升，从而提高了检测机构对细小孔洞、半穿孔的检出率。

在一些实施例中，补光机构包括光源模组、转动机构及两个固定板，其中：两个固定板连接在机架上，光源模组经转动机构连接在两个固定板之间，转动机构被配置为带动光源模组转动以调整补光角度。

通过对补光机构进行设置，实现了对光源模组的补光角度的调整。

在一些实施例中，转动机构包括转轴及两个转动块，其中：两个转动块分别转动安装在一个固定板上，转轴的两端分别连接在一个转动块上，光源模组连接在转轴上，两个转动块经转轴带动光源模组转动以调整补光角度。

提供了一种结构简单的转动机构，实现了对光源模组的补光角度的调整。

在一些实施例中，固定板上设置有弧形的滑孔，转轴的端部穿过滑孔后固定至转动块上，转动块带动转轴在滑孔内滑动，从而带动光源模组转动以调整补光角度。

通过转动块、转轴和滑孔的配合，带动光源模组转动以实现补光角度的调整。

在一些实施例中，固定板上设置有标示转动块的转动角度的标尺。

通过设置标尺，可以直观地观察到转动块的转动角度，从而获知光源模组的补光角度。