[实用新型]氢化物气相外延用的浮舟及浮舟装置

权利要求书

1.一种氢化物气相外延用的浮舟，其特征在于，所述氢化物气相外延用的浮舟包括：舟体、连接于所述舟体上的进气管；

所述舟体内部具有气体输送通道，该气体输送通道的进气口和出气口延伸至所述舟体的表面上，所述出气口为至少一个，所述进气管一端与所述进气口相连通；所述舟体能够浮在液体生长源中，其排开的生长源的重量＝舟体沉入液体生长源中的重量，所述舟体沉入液体生长源中的深度为固定值，所述出气口距离液体生长源的液面的距离，随液体生长源的液面的变化，保持固定。

2.根据权利要求1所述的氢化物气相外延用的浮舟，其特征在于，所述舟体为一圆盘，所述进气口位于所述圆盘的顶面，所述出气口位于所述圆盘的侧面。

3.根据权利要求2所述的氢化物气相外延用的浮舟，其特征在于，所述出气口为多个时，多个出气口周向地分布于所述圆盘的侧面。

4.根据权利要求3所述的氢化物气相外延用的浮舟，其特征在于，所述气体输送通道包括：进气通道和多个出气通道，所述进气通道一端为所述进气口，任一所述出气通道一端为所述出气口，各出气通道的另一端与所述进气通道的另一端相连通。

5.根据权利要求1所述的氢化物气相外延用的浮舟，其特征在于，所述浮舟的材质为石英或者三氧化二铝。

6.根据权利要求1所述的氢化物气相外延用的浮舟，其特征在于，所述出气口径向的形状为圆、半圆、椭圆、方形中的一种，尺寸为1mm至99mm，所述出气口距离液体生长源的液面的距离为零或者大于零。

7.根据权利要求1所述的氢化物气相外延用的浮舟，其特征在于，所述液体生长源为液体镓源。

8.一种氢化物气相外延生长用浮舟装置，其特征在于，所述氢化物气相外延生长用浮舟装置包括：反应器、位于所述反应器中的浮舟、气源、连接所述浮舟和气源的管道；

所述浮舟为如权利要求1-7任一项所述的浮舟，所述气源为氯化氢气源。

9.根据权利要求8所述的氢化物气相外延生长用浮舟装置，其特征在于，所述反应器为一桶体，所述桶体的桶盖上具有供所述进气管伸出的开口，所述舟体的四周与所述桶体的内侧壁之间保持有间距。