[实用新型]一种X射线荧光光谱仪

权利要求书

1.一种X射线荧光光谱仪，其特征在于，包括：

可开闭的测量腔，所述测量腔关闭时与外界密封隔离，所述测量腔内设置有样品盘、滤光板以及位移装置，所述滤光板上设置有多个安装位以安装不同的滤光片，所述位移装置用于驱动所述样品盘以及所述滤光板中的一个相对于另一个移动以使所述样品盘与所述滤光板上的滤光片对齐；

分析模块，包括X射线发生器以及探测器，所述X射线发生器产生的X射线经过所述滤光片后照射所述样品盘中样品，所述探测器用于接收样品受激发产生的荧光X射线形成荧光光谱图。

2.根据权利要求1所述的X射线荧光光谱仪，其特征在于，还包括旋转装置，所述样品盘为偏心盘，所述旋转装置带动所述偏心盘上的样品绕所述旋转装置的输出轴周向转动。

3.根据权利要求1所述的X射线荧光光谱仪，其特征在于，所述分析模块还包括氦气填充装置，所述氦气填充装置用于向所述测量腔充注氦气。

4.根据权利要求3所述的X射线荧光光谱仪，其特征在于，所述氦气填充装置包括充气装置以及压力检测装置，所述充气装置用于向所述测量腔供气，所述压力检测装置用于检测所述测量腔内的压力，且所述压力检测装置在所述测量腔内的压力达到预设值时关闭所述充气装置。

5.根据权利要求1-4任意一项所述的X射线荧光光谱仪，其特征在于，所述分析模块还包括抽真空装置，所述抽真空装置用于使所述测量腔形成真空环境。

6.根据权利要求1-4任意一项所述的X射线荧光光谱仪，其特征在于，所述位移装置为转动驱动装置和/或平移驱动装置。

7.根据权利要求1-4任意一项所述的X射线荧光光谱仪，其特征在于，还包括控制系统，所述控制系统用于接收操作人员控制指令并控制所述测量腔以及所述分析模块按照预定指令动作。

8.根据权利要求7所述的X射线荧光光谱仪，其特征在于，所述X射线发生器包括X射线管和为所述X射线管提供电源的电气元件。

9.根据权利要求8所述的X射线荧光光谱仪，其特征在于，还包括光谱仪主体，所述控制系统以及所述电气元件设置于所述光谱仪内部一侧，所述测量腔、所述X射线发生器以及所述探测器设置于所述光谱仪内部的另一侧。

10.根据权利要求9所述的X射线荧光光谱仪，其特征在于，所述光谱仪主体设置有散热装置。