[实用新型]一种燃料电池极板金属碳化物涂层的四腔体沉积系统

权利要求书

1.一种燃料电池极板金属碳化物涂层的四腔体沉积系统，其特征在于，主要包括：依次为进片腔室（1）、过渡层沉积腔室（2）、金属碳化物层沉积腔室（3）和出片腔室（4）；各个腔室的进出口均设有腔室阀门（5）将两侧的腔室相互隔开；样品传动装置（8）穿过各个腔室内的底部，形成一条闭合回路；样品架（6）设在所述样品传动装置（8）上，带动着样品（7）从左至右依次穿过各个腔室，完成涂层的制备。

2.根据权利要求1所述的四腔体沉积系统，其特征在于，在所述进片腔室（1）、过渡层沉积腔室（2）、金属碳化物层沉积腔室（3）和出片腔室（4）内，还分别配备有独立的真空系统、电源系统以及气路系统。

3.根据权利要求1所述的四腔体沉积系统，其特征在于，所述样品架（6）上可以悬挂2～20片燃料电池极板。

4.根据权利要求1所述的四腔体沉积系统，其特征在于，分别在所述过渡层沉积腔室（2）和所述金属碳化物层沉积腔室（3）的两侧壁面对称均匀布置一定数量的加热装置（12）。

5.根据权利要求4所述的四腔体沉积系统，其特征在于，分别在所述过渡层沉积腔室（2）和所述金属碳化物层沉积腔室（3）内的两侧壁面上设有阴极磁场（13），与所述加热装置（12）间隔排列。

6.根据权利要求5所述的四腔体沉积系统，其特征在于，所述阴极磁场（13）采用5～9道磁铁。

7.根据权利要求1所述的四腔体沉积系统，其特征在于，所述过渡层沉积腔室（2）的阴极磁场（13）的表面并排设有多个金属靶位（9），而且各个金属靶位（9）上的磁力线相互闭合，构成非平衡闭合磁场。

8.根据权利要求7所述的四腔体沉积系统，其特征在于，所述金属靶位（9）的数量为1～5，两侧对称靶位的间距为2～30cm。

9.根据权利要求7所述的四腔体沉积系统，其特征在于，每个所述金属靶位（9）上安装纯金属靶材，所述纯金属靶材为过渡金属中的一种。

10.根据权利要求1所述的四腔体沉积系统，其特征在于，所述金属碳化物层沉积腔室（3）的阴极磁场（13）的表面并排设置多个碳化物靶位（10），而且各个靶位上的磁场为平衡磁场。

11.根据权利要求10所述的四腔体沉积系统，其特征在于，所述碳化物靶位（10）的数量为1～5，两侧对称靶位的间距为2～20cm。

12.根据权利要求10所述的四腔体沉积系统，其特征在于，每个所述碳化物靶位（10）上安装纯金属靶材、金属碳化物靶材或者多元硅碳陶瓷靶材；所述纯金属靶材为过渡金属中的一种，所述金属碳化物靶材为过渡金属的碳化物中的一种。

13.根据权利要求10所述的四腔体沉积系统，其特征在于，所述碳化物靶位（10）的靶材为金属碳化物靶材。

14.根据权利要求10所述的四腔体沉积系统，其特征在于，在金属靶位（9）和所述碳化物靶位（10）的位置两侧，还分别设有还原性气体通气管（11）。