[实用新型]一种可调光学相位阵列

权利要求书

1.一种可调光学相位阵列，其特征在于，包括：衬底层、分布式布拉格反射器、支撑层、压电层、天线阵列以及用于对相位控制信号与表面波进行相互转换的换能器模块；

所述分布式布拉格反射器设于所述衬底层表面，所述支撑层设于所述压电层与所述分布式布拉格反射器之间，所述天线阵列和所述换能器模块设于所述压电层表面，所述天线阵列与所述分布式布拉格反射器形成法布里珀罗谐振腔。

2.如权利要求1所述的可调光学相位阵列，其特征在于，所述换能器模块包括一组或者多组叉指换能器，每组所述叉指换能器至少包括一个用于将相位控制信号转换为表面波的输入叉指换能器。

3.如权利要求2所述的可调光学相位阵列，其特征在于，每组所述叉指换能器包括与所述输入叉指换能器相对设置、用于将表面波转换为反馈信号的输出叉指换能器，所述天线阵列设于所述输入叉指换能器与所述输出叉指换能器之间。

4.如权利要求2所述的光学相位阵列，其特征在于，所述叉指换能器的结构为啁啾结构、倾斜结构以及变迹结构中的至少一种。

5.如权利要求1所述的可调光学相位阵列，其特征在于，所述天线阵列包括多个纳米天线元件，所述纳米天线元件的折射率大于1.9。

6.如权利要求5所述的可调光学相位阵列，其特征在于，所述纳米天线元件的形状为圆柱、方块、十字、圆孔、方孔、十字孔、V型中的至少一种。

7.如权利要求5所述的可调光学相位阵列，其特征在于，所述纳米天线元件的材料为硅、砷化镓、铝镓砷、氮化硅以及磷化铟中的任意一种。

8.如权利要求1所述的可调光学相位阵列，其特征在于，所述天线阵列的材料与所述压电层的材料相同。

9.如权利要求1所述的可调光学相位阵列，其特征在于，所述压电层由支撑层支撑，以形成悬浮的压电薄膜，其中，悬浮高度小于15um。

10.如权利要求1所述的可调光学相位阵列，其特征在于，所述支撑层包括多个支撑结构，相邻的所述支撑结构之间的间隔大于天线周期。