[实用新型]一种背板水路的检测装置

说明书

本实用新型公开了一种背板水路的检测装置，包括固定架一、齿轮一和传动辊，所述固定架一由水平板和平行固定在水平板上的两个竖板一组成，所述竖板一之间设置多组齿轮一，所述齿轮一两端沿轴线方向设置两个旋转轴，所述两个竖板一上设置多组相互对应的通孔，所述旋转轴插接在通孔内，所述齿轮一之间通过齿轮皮带连接，其中一个所述齿轮一通过旋转轴和输出轴连接电机，其余所述齿轮一两侧设置传动辊，所述传动辊转动连接在水平板上，所述传动辊通过连接组件与齿轮一同步转动，所述固定架一上设置竖板二，所述竖板二上均匀设置多组超声探头，所述超声探头电连接超声探伤仪，本装置检测迅速可靠、适用范围广。

技术领域

本实用新型属于靶材绑定技术领域，具体涉及一种背板水路的检测装置。

背景技术

靶材是指通过溅射镀膜法形成各种功能薄膜溅射源。真空溅射是在温度为300℃~500℃高温下，且在高压电场和较大的磁场下，由电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞，电离出大量的氩离子和电子，电子飞向基片，氩离子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶材原子或分子沉积在基片上成膜，而最终达到对基片表面镀膜的目的。因此，在溅射过程中，靶材的温度会急剧升高，因而靶材在溅射前需要与背板粘结在一起，背板中设置的冷却水路中的冷水能够迅速消减靶材组件的热量。但当背板中的循环水路存在杂物堵塞，溅射过程中靶材的温度将不会被迅速消减，将导致靶材在受热条件下变形、开裂并与结合的背板相脱落，使得溅射无法达到溅射均匀的效果，同时还可能会对溅射机台造成损伤。因此背板中的冷却水路是否通畅，对靶材能否成功溅射是非常重要的。但目前还没有一种具体的方法对背板中的冷却水路是否堵塞进行检测。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的是针对现有技术的不足，提供一种检测迅速可靠、适用范围广的背板水路的检测装置。

为达到上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种背板水路的检测装置，包括固定架一、齿轮一和传动辊，所述固定架一由水平板和平行固定在水平板上的两个竖板一组成，所述竖板一之间设置多组齿轮一，所述齿轮一两端沿轴线方向设置两个旋转轴，所述两个竖板一上设置多组相互对应的通孔，所述旋转轴插接在通孔内，所述齿轮一之间通过齿轮皮带连接，其中一个所述齿轮一通过旋转轴和输出轴连接电机，其余所述齿轮一两侧设置传动辊，所述传动辊转动连接在水平板上，所述传动辊通过连接组件与齿轮一同步转动，所述固定架一上设置竖板二，所述竖板二上均匀设置多组超声探头，所述超声探头电连接超声探伤仪。

进一步的，所述传动辊由轴芯和辊筒组成，所述辊筒的材质为聚氨酯。

进一步的，所述连接组件包括齿轮二和齿轮三，位于齿轮一一侧的所述轴芯上水平设置齿轮二，所述齿轮二为锥齿轮，所述轴芯底端转动连接轴承一，所述轴承一设置在水平板上，所述齿轮二上方设置与齿轮二相匹配的齿轮三，所述齿轮三通过旋转轴与齿轮一连接，位于齿轮一另一侧的轴芯下方设置轴承二，所述轴承二设置在水平板上。

进一步的，所述竖板一和位于竖板一两侧的水平板之间设置两个罩壳，所述罩壳由L型板和设置在L型板两端的挡板组成，所述罩壳上设置与轴芯、输出轴和竖板二相匹配的通孔。

进一步的，所述超声探头内部设置超声相控阵换能器。

进一步的，所述轴承一和轴承二为圆锥滚子轴承。

本实用新型的有益效果是：