[实用新型]一种非接触式的配流盘平面度检测装置

权利要求书

1.一种非接触式的配流盘平面度检测装置，其特征在于：包括移动控制模块、检测模块、实验台及支撑架模块和数据处理及显示模块，所述移动控制模块包括气浮转台控制模块、X向导轨控制模块与Z向导轨控制模块；所述的实验台及支撑架模块包括实验柜和龙门架；所述的检测模块即激光位移传感器；所述龙门架与气浮转台置于大理石台上，配流盘置于气浮转台中央，用固定销固定，将X向导轨固定在龙门架上，Z向导轨固定在X向导轨滑块上，Z向导轨随X向导轨滑块滑动；所述激光位移传感器安装在Z向导轨连接板上，通过Z向电机与Z向联轴器，随Z向导轨滑块上下滑动，工控机通过控制运动控制卡控制相应电机，进而控制X向导轨、Z向导轨与气浮转台的运动。

2.根据权利要求1所述的非接触式的配流盘平面度检测装置，其特征在于：所述气浮转台控制模块端跳小于250nm，测量精度小于2.5μm；所述X向导轨控制模块用于改变非接触式配流盘平面度检测装置的传感器相对于气浮转台的中心距离，使该装置可测量不同半径大小被测工件；所述Z向导轨控制模块用于改变非接触式配流盘平面度检测装置的传感器相对于气浮转台转盘的垂直距离，使被测工件处于传感器位移测量的最佳位置，且可适应不同厚度被测工件。

3.根据权利要求1所述的非接触式的配流盘平面度检测装置，其特征在于：所述激光位移传感器用于采集非接触式配流盘平面度检测装置的数据点，避免在测量过程中传统的接触式传感器测头磨损，从而引入测头磨损误差，且可获得大量数据点，精确反映被测工件表面平面度状况；本装置选用传感器精确度可达0.2μm，重复精度约为0.2μm，满足配流盘平面度误差小于等于5μm。

4.根据权利要求1所述的非接触式的配流盘平面度检测装置，其特征在于：所述实验柜用于安装龙门架、气浮转台以及显示装置；所述的龙门架用于支撑X向导轨、Z向导轨以及激光位移传感器，所述龙门架采用三角结构，可增加装置稳定性；本装置在横梁上打若干个等间距的孔，方便安装X向导轨。

5.根据权利要求1所述的非接触式的配流盘平面度检测装置，其特征在于：所述的数据处理及显示模块用于非接触式配流盘平面度检测装置数据测量后，进行平面度误差评定，且将最终平面度误差结果显示在电脑上。