[实用新型]一种压电陶瓷驱动单轴微定位平台有效
| 申请号: | 201921638848.1 | 申请日: | 2019-09-27 |
| 公开(公告)号: | CN210667810U | 公开(公告)日: | 2020-06-02 |
| 发明(设计)人: | 刘正锋;王瑾;曹锋;罗奇;周成全;路崧;高云峰 | 申请(专利权)人: | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
| 主分类号: | G12B5/00 | 分类号: | G12B5/00 |
| 代理公司: | 深圳众鼎专利商标代理事务所(普通合伙) 44325 | 代理人: | 黄章辉 |
| 地址: | 518000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 压电 陶瓷 驱动 单轴微 定位 平台 | ||
1.一种压电陶瓷驱动单轴微定位平台,其特征在于,包括安装座、压电陶瓷、第一放大机构、输出球和运动平台,所述第一放大机构固定在所述安装座上,所述压电陶瓷固定在所述第一放大机构内,所述第一放大机构围设于所述压电陶瓷,所述运动平台活动连接在所述安装座上,所述输出球连接在所述第一放大机构的输出端上和所述运动平台上,所述输出球与所述压电陶瓷的移动端相对设置。
2.如权利要求1所述的一种压电陶瓷驱动单轴微定位平台,其特征在于,所述输出球与所述运动平台点接触。
3.如权利要求1所述的一种压电陶瓷驱动单轴微定位平台,其特征在于,所述运动平台包括第二放大机构和输出件,所述第二放大机构连接于所述输出球和所述输出件。
4.如权利要求3所述的一种压电陶瓷驱动单轴微定位平台,其特征在于,所述第一放大机构、所述第二放大机构、所述输出球以及所述压电陶瓷位于所述安装座内,所述输出件穿设于所述安装座。
5.如权利要求4所述的一种压电陶瓷驱动单轴微定位平台,其特征在于,还包括连接杆,所述第一放大机构通过所述连接杆固定在所述安装座上,所述连接杆穿设于所述安装座,所述压电陶瓷位于所述连接杆和所述输出球之间。
6.如权利要求3所述的一种压电陶瓷驱动单轴微定位平台,其特征在于,所述输出件上设有若干个安装孔。
7.如权利要求1所述的一种压电陶瓷驱动单轴微定位平台,其特征在于,所述输出球为挠性球。
8.如权利要求1所述的一种压电陶瓷驱动单轴微定位平台,其特征在于,还包括保护层和固定杆,所述压电陶瓷的相邻于所述移动端的两侧面均固定有所述保护层且设置有所述固定杆,所述固定杆穿设于所述第一放大机构且一端抵触在所述保护层上。
9.如权利要求1所述的一种压电陶瓷驱动单轴微定位平台,其特征在于,所述第一放大机构为桥式柔性铰链或差动式杠杆。
10.如权利要求3所述的一种压电陶瓷驱动单轴微定位平台,其特征在于,所述第二放大机构为层叠式柔性铰链。
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