[实用新型]一种用于集成电路的测试装置

权利要求书

1.一种用于集成电路的测试装置，其特征在于：包括底座(1)，所述底座(1)上方通过升降组件(2)固定安装有安装底板(3)，所述安装底板(3)上方通过伸缩杆(4)活动安装有检测上板(5)，且安装底板(3)两侧固定安装有支撑架(6)，所述伸缩杆(4)表面套接有缓冲弹簧(7)，所述支撑架(6)呈“ㄇ”状，且所述支撑架(6)顶部中心竖直固定安装有第一液压升降缸(8)，所述第一液压升降缸(8)输出轴端通过探针安装座(9)安装有若干检测探针(10)，所述检测上板(5)上表面两侧对角线设置有两个夹块(11)，所述检测上板(5)上表面均与间距铺设有若干真空吸盘(12)，所述真空吸盘(12)输入端连接有真空泵(13)，所述真空泵(13)固定安装在安装底板(3)一侧。

2.根据权利要求1所述的一种用于集成电路的测试装置，其特征在于：所述升降组件(2)包括分别设置在安装底板(3)底面四角的四根第二液压升降缸(14)。

3.根据权利要求1所述的一种用于集成电路的测试装置，其特征在于：所述伸缩杆(4)为四个，且四个所述伸缩杆(4)分别位于检测上板(5)下表面四角。

4.根据权利要求1所述的一种用于集成电路的测试装置，其特征在于：所述伸缩杆(4)包括外套管(16)和滑动套接在外套管(16)内的内滑杆(17)。

5.根据权利要求1所述的一种用于集成电路的测试装置，其特征在于：所述检测上板(5)上表面设置有顶板(19)，所述顶板(19)呈矩形框架结构，且顶板(19)上表面与检测上板(5)上表面平齐，所述顶板(19)底面四角均设置有第三液压升降缸(15)，四个所述第三液压升降缸(15)均固定安装在检测上板(5)内。

6.根据权利要求5所述的一种用于集成电路的测试装置，其特征在于：所述检测上板(5)和顶板(19)上表面均铺设满有绝缘橡胶层(18)。