[实用新型]基板检测装置

说明书

本实用新型实施例所述的基板检测装置包括：设置在基板检测区域内来检测基板表面的基板检测单元；以基板检测区域为基准，位于基板的移送方向的上游侧的第一夹具模块；以及以基板检测区域为基准，位于基板的移送方向的下游侧的第二夹具模块，其中，第一检测模块以把持以与基板的后行端相邻的方式存在或在基板的后行端存在的基板的第一部分的状态进行移动，由此使以与基板的先行端相邻的方式存在或在基板的后行端存在的基板的第二部分通过基板检测区域，在第二部分通过基板检测区域后，第一部分被解除，在第一夹具模块解除第一部分之前或者解除的同时，第二夹具模块以把持第二部分的状态进行移动，来使第一部分通过基板检测区域。

技术领域

本实用新型涉及检测基板表面的基板检测装置及基板检测方法。

背景技术

通常，用于平板显示器的液晶显示面板、有机电致发光显示面板、无机电致发光显示面板、透射投影仪基板、反射投影仪基板等使用单位玻璃面板，所述单位玻璃面板是通过如玻璃等脆性的母玻璃面板(以下，称为“基板”)切割成预定尺寸而获得。

所述基板在使用到产品之前，需要执行检测基板表面的工序。为了检测基板的表面，使用多种基板检测装置。基板检测装置包括与基板表面相对地配置的摄像头，根据通过摄像头拍摄的基板表面的图像来检测基板表面的缺陷。

在以往的基板检测装置中，在通过拾取模块把持基板的边缘部(在与基板的移送方向相垂直的横向上的基板的端部)的状态下，基板通过设置有摄像头的基板检测区域时，通过摄像头拍摄基板的上表面或者下表面。但是，通过拾取模块把持的基板的边缘部被夹持模块所遮挡，因此无法通过摄像头拍摄基板的边缘部。因此，需要额外设置用摄像头拍摄边缘部来检测边缘部的工序。这导致检测基板的工序的数量增加，检测基板所需的时间增加的问题。

实用新型内容

本实用新型用于解决上述以往技术的问题，本实用新型目的在于提供一种基板检测装置和基板检测方法，其能够一次性地检测包括基板的边缘部的基板的上表面和/或下表面的整体，从而可以减少检测基板的工序数及检测基板所需的时间。

本实用新型实施例提供一种基板检测方法，所述基板检测方法使用基板检测装置检测基板的表面，所述基板检测装置包括：配置在基板检测区域内来检测基板的表面的基板检测单元；以所述基板检测区域为基准，设置在所述基板的移送方向的上游侧的第一夹具模块；以所述基板检测区域为基准，设置在所述基板的移送方向的下游侧的第二夹具模块，

其中，所述基板检测方法可以包括：

(a)通过所述第一夹具模块把持以与所述基板的后行端相邻的方式存在或在基板的后行端存在的所述基板的第一部分的步骤；

(b)移动所述第一夹具模块，使以与所述基板的先行端相邻的方式存在或在基板的先行端存在的所述基板的第二部分通过所述基板检测区域的步骤；

(c)通过所述第二夹具模块把持已通过所述基板检测区域的所述第二部分，所述第一夹具模块解除所述第一部分的步骤；以及

(d)移动所述第二夹具模块，使所述第一部分通过所述基板检测区域的步骤。

可以是，在所述(c)步骤中，所述第一夹具模块解除所述第一部分的动作和所述第二夹具模块把持所述第二部分的动作同时进行。

可以是，在所述(c)步骤中，所述第一夹具模块解除所述第一部分的动作和所述第二夹具模块把持所述第二部分的动作，在所述第一夹具模块和所述第二夹具模块以相同的速度进行移动时执行。

作为另一例，可以是，在所述(c)步骤中，所述第一夹具模块解除所述第一部分的动作和所述第二夹具模块把持所述第二部分的动作，在所述第一夹具模块和所述第二夹具模块以等速进行移动时执行。

根据本实用新型实施例所述的基板检测方法，其可以还包括：在所述第二部分通过所述基板检测区域之前，加速所述第二夹具模块的步骤。