[实用新型]一种封装胶烘烤用隧道炉有效
申请号: | 201921607834.3 | 申请日: | 2019-09-25 |
公开(公告)号: | CN210922161U | 公开(公告)日: | 2020-07-03 |
发明(设计)人: | 吕志伟;张昌望 | 申请(专利权)人: | 长治市华光半导体科技有限公司 |
主分类号: | F27B9/02 | 分类号: | F27B9/02;F27B9/06;F27B9/24;F27B9/36;F27B9/40;F27B9/30;F27D17/00;H01L21/67;H01L33/48 |
代理公司: | 太原高欣科创专利代理事务所(普通合伙) 14109 | 代理人: | 崔雪花;冷锦超 |
地址: | 046000 山*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 封装 烘烤 隧道 | ||
1.一种封装胶烘烤用隧道炉,包括炉体,其特征在于,所述炉体内设置有密封的加热腔,所述加热腔包括相互连通的上腔体、中腔体和下腔体,所述上腔体与中腔体之间设置有上输送装置,所述中腔体与下腔体之间设置有下输送装置,所述上腔体内设置有上风热装置,所述中腔体内设置有中加热装置,所述下腔体内设置有下风热装置;所述上风热装置设置于上输送装置上方,所述下风热装置设置于下输送装置下方,所述中加热装置设置于上输送装置和下输送装置之间;
所述上风热装置和下风热装置均包括多段单独控制的热风机和电加热管,所述中加热装置为多个单独控制的红外发热管,所述红外发热管设置于加热腔前后两侧壁;
所述上输送装置和下输送装置为输送带,所述上输送装置和下输送装置的首端均设置有入板,末端均设置有升降传动出板;
所述炉体内还设置有排风装置,所述排风装置包括上腔体外壁顶部设置的多个废气排放管和与所述废气排放管连接的多个排风口,所述排风口设置于炉体的顶部,所述排风口设置有抽风机。
2.根据权利要求1所述的一种封装胶烘烤用隧道炉,其特征在于,所述加热腔内还设置有多个温度传感器和风速仪。
3.根据权利要求1所述的一种封装胶烘烤用隧道炉,其特征在于,所述加热腔外壁设置有可拆卸式的隔热层。
4.根据权利要求1所述的一种封装胶烘烤用隧道炉,其特征在于,所述排风口通过排风管连接废气处理装置,所述废气处理装置包括降温装置和吸收装置,所述降温装置为循环水降温装置,所述吸收装置包括箱体和设置于箱体内的多层吸收抽屉,所述箱体底部设置废气进口,顶部设置废气出口,所述吸收抽屉通过设置于箱体内侧壁的滑轨安装于箱体内,所述吸收抽屉内填充活性炭,所述吸收抽屉外侧设置有拉手。
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