[实用新型]一种芯片测试收料用托盘蓝膜的固定装置

说明书

本实用新型公开了一种芯片测试收料用托盘蓝膜的固定装置，包括工作台和框体，所述工作台的顶部与框体的底部固定连接，所述框体左侧的底部固定连接有箱体，且箱体的正面固定连接有壳体，所述壳体内壁的底部固定连接有电机，本实用新型涉及蓝膜固定技术领域。该芯片测试收料用托盘蓝膜的固定装置，通过壳体内壁的底部固定连接有电机，便于对蓝膜进行自动固定，不需要从托盘另一边绕过去，操作更加简单，缩短了花费的时间，便于后续对芯片进行收料，通过箱体的顶部固定连接有收集箱，收集箱的顶部固定连接有吸尘机，在蓝膜固定前，可以通过吸尘机对托盘表面进行清理，减轻了工人的劳动量，使用更加干净，芯片与蓝膜不易沾灰。

技术领域

本实用新型涉及蓝膜固定技术领域，具体为一种芯片测试收料用托盘蓝膜的固定装置。

背景技术

蓝膜是半导体晶圆厂做晶圆切割或基板切割、背面研磨、减薄制程中所使用保护表面回路的保护膜，PVC材质，可在无尘室内使用，是晶圆加工过程中所用到的特殊胶带，其至少包括一基材膜及一黏着剂层，该基材膜为聚合物薄膜，其多半以如聚对苯二甲酸酯(PET)、聚丙烯(PP)、聚气乙烯(PVC)或聚乙烯(PE)等材质制成，该黏着剂层条为调配完成之胶材，其均匀涂布于该基材膜之一表面，透过该黏着剂层贴覆于晶圆背面，可使晶圆顺利进行后续如切割、打线等过程，因此，各家厂商皆针对该基材膜与黏着剂层的材质、成分与厚度等进行研究开发，并推出各式适用性与规格不同的产品，其主要目的除了增强承载强度，亦在于确保晶圆表面不受研磨液或碎屑等浸入，且于剥离时具有高稳定性且不留残胶。

目前在对芯片测试的过程中，把芯片放置在托盘上，然后把蓝膜覆盖上去，但现在把蓝膜覆盖上去时，还要从托盘另一边绕过去，对蓝膜进行固定，操作较为繁琐，使用不方便，不便于后续对芯片进行收料，同时托盘上容易落灰，容易粘附在芯片和蓝膜上，人工反复清理较为麻烦，增加了劳动量。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种芯片测试收料用托盘蓝膜的固定装置，解决了对蓝膜进行固定，操作较为繁琐，使用不方便，不便于后续对芯片进行收料，同时托盘上容易落灰，容易粘附在芯片和蓝膜上，人工反复清理较为麻烦，增加了劳动量的问题。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种芯片测试收料用托盘蓝膜的固定装置，包括工作台和框体，所述工作台的顶部与框体的底部固定连接，所述框体左侧的底部固定连接有箱体，且箱体的正面固定连接有壳体，所述壳体内壁的底部固定连接有电机，且电机输出轴的一端通过联轴器固定连接有转动杆，所述转动杆远离电机的一端贯穿箱体并延伸至箱体的内部，所述转动杆延伸至箱体内部的一端与箱体内壁的背面转动连接，所述转动杆的表面固定连接有蓝膜辊，且蓝膜辊的表面缠绕有蓝膜，所述蓝膜远离蓝膜辊的一侧贯穿框体并延伸至框体的外部，所述工作台的顶部固定连接有托盘，且托盘的顶部活动连接有芯片，所述框体顶部的两侧均固定连接有液压伸缩杆，且液压伸缩杆输出轴的一端固定连接有与芯片相适配的矩形框。

优选的，所述芯片的顶部与蓝膜的底部活动连接，所述框体内壁右侧的顶部与底部均固定连接有支撑板。

优选的，所述支撑板靠近蓝膜的一侧固定连接有电动伸缩杆，且电动伸缩杆输出轴的一端固定连接有固定板。

优选的，所述固定板远离电动伸缩杆的一侧与蓝膜的表面活动连接，所述箱体的顶部固定连接有收集箱。

优选的，所述收集箱的顶部固定连接有吸尘机，且吸尘机的进气口连通有进气管，所述进气管远离吸尘机的一端贯穿框体并延伸至框体的内部。

优选的，所述进气管延伸至框体内部的一端固定连接有吸嘴，所述吸尘机的出气口连通有出气管，所述出气管远离吸尘机的一端贯穿收集箱并延伸至收集箱的内部。

优选的，所述工作台底部的四角均固定连接有支撑腿，所述工作台的底部且位于两个支撑腿相对的一侧之间固定连接有矩形箱。

有益效果