[实用新型]一种八氟丙烷的提纯装置

说明书

本实用新型公开了一种八氟丙烷的提纯装置，包括粗品八氟烷储罐、气液分离器、液相吸附塔、第一精馏塔、第二精馏塔、气相吸附塔、第三精馏塔以及产品储罐，粗品八氟烷储罐的出口连接至气液分离器的入口，气液分离器的液相出口连接至液相吸附塔的物料入口，液相吸附塔的物料出口连接至第一精馏塔的物料入口，第一精馏塔的重组分出口连接至第二精馏塔的物料入口，第二精馏塔的轻组分出口连接至气相吸附塔的物料入口，气相吸附塔的物料出口连接至第三精馏塔的物料入口，第三精馏塔的轻组分出口连接至产品储罐。本实用新型具有安全性高，设备投入少，耗能少，经济性好，工艺操作简单，产品纯度高等优点，得到纯度大于99.999.5％以上的产品。

技术领域

本实用新型涉及气体提纯领域，具体涉及一种八氟丙烷的提纯装置。

背景技术

高纯八氟丙烷主要用作半导体制造过程的清洗气和蚀刻剂，随着半导体行业的发展，对其纯度要求也越来越高。但是就目前的主要的制备方法而言，无论是直接氟化还是氧化氟化法制备的八氟丙烷粗产品中，除了空气、水、二氧化碳、四氟化碳这些杂质外，还含有大量制备过程中因化学键断裂和重构产生的氯二氟甲烷、氯五氟乙烷、二氯二氟甲烷、六氟丙烯等含氯氟碳化合物杂质，所以需要进一步对其纯化来得到高纯的八氟丙烷产品。

目前八氟丙烷的提纯方法常用的主要有精馏和吸附。八氟丙烷中杂质种类很多，往往存在沸点与八氟丙烷接近或共沸的杂质，精馏方法难以将其除去。而吸附法中常用分子筛、活性炭和碳分子筛等吸附剂，但八氟丙烷中的众多杂质中有些杂质对这些吸附剂中的吸附容量很小，也难以除去达到纯化要求。无论是采用单一的精馏还是单一的吸附都难以把粗八氟丙烷中的含氯氟碳化合物杂质、CO2和H2O等杂质提纯达到标准，得到纯度在99.999.5％以上的产品。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种八氟丙烷的提纯装置，具有安全性高，设备投入少，耗能少，经济性好，工艺操作简单，产品纯度高等优点，得到纯度大于99.999.5％以上的产品。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种八氟丙烷的提纯装置，包括粗品八氟丙烷储罐、气液分离器、液相吸附塔、第一精馏塔、第二精馏塔、气相吸附塔、第三精馏塔以及产品储罐，所述粗品八氟丙烷储罐的出口连接至所述气液分离器的入口，所述气液分离器的液相出口连接至所述液相吸附塔的物料入口，所述液相吸附塔的物料出口连接至所述第一精馏塔的物料入口，所述第一精馏塔的重组分出口连接至所述第二精馏塔的物料入口，所述第二精馏塔的轻组分出口连接至所述气相吸附塔的物料入口，所述气相吸附塔的物料出口连接至所述第三精馏塔的物料入口，所述第三精馏塔的轻组分出口连接至所述产品储罐。

进一步的，所述液相吸附塔的吸附剂为硅胶、氧化铝、碱土金属氧化物、氟化钙中的一种或多种。

进一步的，所述气相吸附塔的吸附剂为高选择性二氧化碳吸附剂、活性炭及分子筛、含碳分子筛中的一种或多种。

进一步的，所述气液分离器的气相出口连接至气体传感器的入口，所述气体传感器的出口连接至所述气液分离器的回气口或轻组分回收罐。

进一步的，所述第一精馏塔的轻组分出口连接至轻组分回收罐。

进一步的，所述第二精馏塔的重组分出口连接至重组分回收罐。

进一步的，所述第三精馏塔的重组分出口连接至重组分回收罐。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：