[实用新型]一种锗烷氮气加热装置

说明书

本实用新型属于锗烷氮气加热技术领域，尤其为一种锗烷氮气加热装置；所述加热罐的顶部设置有吸气泵和加热器，所述吸气泵与加热器相连通，加热器的侧面连通有第一循环管，所述第一循环管通过连接管道连通有第二循环管，所述第二循环管的一端穿过加热罐并连通有抽气泵；本实用新型通过电机工作能够带动转轴转动，进而能够带动导流板进行转动，对热气与锗烷氮气进行导流混合，增加混合效果，提高加热效率；通过第一循环管、第二循环管、烘干箱和加热器，实现了对加热罐的锗烷氮气进行加热的目的，同时达到了节能的效果，大大提高了对热能的利用效率；通过设置电机、转轴和导流板，达到了提高加热罐内锗烷氮气与热能混合效果的目的。

技术领域

本实用新型属于锗烷氮气加热技术领域，具体涉及一种锗烷氮气加热装置。

背景技术

锗烷为无色、剧毒、可自燃、非腐蚀性气体，热稳定性差，160～180℃时锗烷缓慢氧化，大约在280℃就能检测到锗烷分解为锗和氢，在350℃锗烷几乎全部分解成单质锗和氢气；锗烷的自催化性很强，一旦分解形成了金属覆盖膜，就会急剧分解，故其分解爆炸危险性很高，锗烷一般通过化学还原法、电化学反应法、等离子合成法合成，在半导体工业上有重要的用途。

目前现有使用的锗烷氮气加热装置大多无法做到节能，在对热能的利用不够充分，进而极大的导致了能源的浪费，不利于节能环保，同时不利于节约成本。

实用新型内容

为解决上述背景技术中提出的问题。本实用新型提供了一种锗烷氮气加热装置，具有节能效果好和加热均匀的特点。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种锗烷氮气加热装置，包括加热罐，所述加热罐的顶部设置有吸气泵和加热器，所述吸气泵与加热器相连通，加热器的侧面连通有第一循环管，所述第一循环管通过连接管道连通有第二循环管，所述第二循环管的一端穿过加热罐并连通有抽气泵，所述抽气泵固定连接在加热罐的顶部，所述加热罐的顶部固定连接有烘干箱，所述烘干箱内部固定连接有第三循环管，所述抽气泵的一端与第三循环管的一端相连通，所述第三循环管的另一端与加热器的顶部相连通，所述加热罐的侧面固定连接有底板，所述底板的顶部固定连接有电机，所述电机的输出轴上固定连接有转轴，所述加热罐的侧面固定连接有密封轴承，所述转轴一端穿过密封轴承并位于加热罐内，所述转轴的表面错落排列有若干个导流板。

优选的，所述加热罐的侧面设置有进气口，所述加热罐的顶部设置有出气口。

优选的，所述烘干箱通过合页活动连接有盖板，所述导流板的数量不少于二十个。

优选的，所述加热罐的底部固定连接有四个支撑腿，且四个所述支撑腿分别位于加热罐底部靠近四角的位置，所述支撑腿的底部固定连接有防滑垫。

优选的，所述加热罐的前侧设置有按钮开关，所述按钮开关分别与抽气泵、吸气泵、加热器和电机通过导线电性连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型，通过电机工作能够带动转轴转动，进而能够带动导流板进行转动，对热气与锗烷氮气进行导流混合，增加混合效果，提高加热效率，实现对热能的充分利用，通过设置抽气泵，能够对加热后的气体进行抽送，使其依次经过第一循环管和第二循环管进行循环加热，该装置采用第一循环管、第二循环管、烘干箱和加热器，实现了对加热罐的锗烷氮气进行加热的目的，同时达到了节能的效果，大大提高了对热能的利用效率，通过设置电机、转轴和导流板，达到了提高加热罐内锗烷氮气与热能混合效果的目的。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1为本实用新型正视剖面的结构示意图；

图2为本实用新型后视剖面的结构示意图；