[实用新型]一种质量流量控制器

说明书

本实用新型公开了一种质量流量控制器，计量管的中部水平设有若干分流管，PCB电路板设置在所述分流管上方；计量管的尾部上表面设有开口，另设一阀板通过驱动组件控制从开口处上下滑动，PCB电路板控制驱动组件运转；PCB电路板和驱动组件分别于散热组件连接，外壳上设有散热窗。本装置通过水平设置的若干分流管，避免了流体重力对测量精度的影响，也能进一步保证质量流量控制的精度；通过增设散热组件，并对散热组件的结构和散热方式进行优化，降低了质量流量控制器的工作环境温度。

技术领域

本实用新型属于技术领域，特别是一种质量流量控制器。

背景技术

气体质量流量控制器用于对气体质量流量进行精密测量及控制，主要应用于半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中。现有的气体质量流量控制器例如专利CN201820877486.0提供的一种机械型气体质量流量控制器，由于在长期使用时，特别是流入质量流量控制器的气体/液体流速频繁波动时，需要不断调整阀芯的运动以调节气体/液体的流速，这造成了电路板/芯片/电机等元器件发热量过大，将会影响这些元器件的正常运行。

发明内容

为了解决上述现有技术的问题，本实用新型提供一种质量流量控制器，在内部设置有散热组件，能有效降低这些元器件的工作环境温度，通过以下技术方案实现。

一种质量流量控制器，包括外壳，所述外壳内设有数据接口、S端子、PCB电路板，所述外壳下方设有计量管，所述计量管的中部水平设有若干分流管，所述PCB电路板设置在所述分流管上方；所述计量管的尾部上表面设有开口，另设一阀板通过驱动组件控制从所述开口处上下滑动，所述PCB电路板控制所述驱动组件运转；所述PCB电路板和驱动组件分别于散热组件连接，所述外壳上设有散热窗。

上述质量流量控制器，通过在PCB电路板和驱动组件上设置散热组件，并在外壳上设置散热窗，实现装置内部散热。通过水平设置的分流管，避免了原本竖直方向设置对某些流体因重力等影响测量精度，设置多个分流管，也能进一步保证质量流量控制的精度。

优选地，所述散热组件为金属片，所述金属片分别连接所述PCB电路板和驱动组件后延伸至所述散热窗。常见的金属片为纯铜材质，通过金属片通过吸热和热传导，将热量传送至散热窗附近实现散热。

更优选地，所述散热组件包括风扇，所述风扇设在所述散热窗外部；所述风扇运转时，风从所述外壳内部朝外吹出。风扇作为一种优选方式，可以单独使用，也可以与金属片联用。风扇的运转使外壳内的吸收了热量的气流从散热窗向外流动完成散热。风扇可以使用单独的电源，也可以与质量流量控制器共用电源。

进一步优选地，所述风扇通在所述散热窗外部可拆卸地设置。风扇可以通过卡扣、榫卯或者卡槽等结构方式，固定在散热窗外，也可以取下风扇。

优选地，所述驱动组件为电机，所述阀板背离所述分流管的一侧设有齿形槽，所述电机的转轴末端的齿轮与所述齿形槽啮合。在阀板背离所述分流管的一侧设有齿形槽的方式，目的是减少气体或液体流体与齿形槽的接触，使用齿形槽，也能减少阀板的上下滑动的距离，节省空间。

优选地，所述外壳上设有若干散热孔。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、通过水平设置的若干分流管，避免了流体重力对测量精度的影响，也能进一步保证质量流量控制的精度；

2、通过增设散热组件，并对散热组件的结构和散热方式进行优化，降低了质量流量控制器的工作环境温度。

附图说明

图1为实施例1所述的质量流量控制器的结构示意图；

图2为实施例1所述的质量流量控制器的A-A截面的俯视图示意图；