[实用新型]一种干燥炉水含量的自动检测设备

权利要求书

1.一种干燥炉水含量的自动检测设备，其特征在于，一个或多个干燥炉通过干泵管道与干泵连接，且所述干泵管道与所述干燥炉连接处设有真空阀门；

一个或多个所述干泵的干泵管道与RGA残余气体测试模组连通，或者一个或多个干燥炉直接与RGA残余气体检测仪连通，所述RGA残余气体测试模组包括RGA残余气体检测仪和调压设备，且所述RGA残余气体检测仪和所述调压设备的连接处通过气动阀与所述干泵管道/所述干燥炉连接；

所述干燥炉、所述干泵、所述真空阀门、所述气动阀、所述RGA残余气体测试模组均与控制中心有线/无线连接。

2.根据权利要求1所述的干燥炉水含量的自动检测设备，其特征在于，所述干燥炉内设有电控箱及若干个干燥腔，每个所述干燥腔的出口处均设有对应的所述真空阀门。

3.根据权利要求1所述的干燥炉水含量的自动检测设备，其特征在于，所述干泵管道包括干泵管道主路和干泵管道支路，所述干泵管道主路连接所述干泵和一个或多个所述干泵管道支路，所述干泵管道支路与对应的所述干燥炉连接。

4.根据权利要求1所述的干燥炉水含量的自动检测设备，其特征在于，所述干泵的底部设有脚轮和支脚。

5.根据权利要求1所述的干燥炉水含量的自动检测设备，其特征在于，所述RGA残余气体测试模组通过模组管与所述干泵管道/所述干燥炉连接，所述气动阀设于所述模组管上。

6.根据权利要求5所述的干燥炉水含量的自动检测设备，其特征在于，所述气动阀包括第一气动阀和第二气动阀，第一气动阀和所述第二气动阀并联的设置于所述模组管上。

7.根据权利要求1所述的干燥炉水含量的自动检测设备，其特征在于，所述RGA残余气体检测仪位于所述干泵/所述干燥炉的一侧。