[实用新型]一种实时监测激光加工性能的系统

说明书

一种实时监测激光加工性能的系统，涉及激光加工技术领域，包括激光加工系统、激光检测系统、射线检测系统、精密夹具和PC模块，其中激光加工系统与激光检测系统共用激光器、分光模组、反射镜和聚集模组，且均位于精密夹具的同一侧，所述射线检测系统包括射线源和射线探测器，所述PC模块通过信号线与激光检测器和射线检测器连接，所述精密夹具套设在板材上，且所述精密夹具相对板材可沿x、y方向平行移动、沿u、i方向旋转移动，本实用新型的加工激光束与探测激光束由同一激光器产生，简化了在线检测系统的结构，减小激光器以及相关光学元件的数量，降低了系统成本。

技术领域

本实用新型涉及激光加工领域，具体涉及一种实时监测激光加工性能的系统。

背景技术

激光具有高分辨率、高效率、无工具磨损等特点，被广泛运用于各类复杂结构材料的加工，可以用于各类材料的细微加工，但激光加工存在热损伤、微裂纹、纳米质变层等问题，影响已加工材料的正常使用性能；同时随着激光加工尺寸的精细化趋势发展，目前可实现的加工尺寸达到10μm以下，常规的检测手段无法完成检测要求。

随着工件所需加工结构的复杂化、精密化趋势发展以及零件本身高成本的特性，需要对激光的加工过程进行实时监测，确保每次加工的正常进行，及时发现加工所存在的问题，并及时作出反馈和止损。

实用新型内容

本实用新型的目的在于避免现有技术中的不足之处而提供一种实时监测激光加工性能的系统，该系统简化了在线检测系统的结构，减少激光器以及相关光学元件的数量，降低系统成本。

本实用新型的目的通过以下技术方案实现：提供一种实时监测激光加工性能的系统，包括激光加工系统、激光检测系统、射线检测系统、精密夹具和PC模块，所述激光加工系统包括依次固定连接的激光器、分光模组、反射镜和聚集模组，所述激光检测系统包括依次固定连接的激光器、分光模组、反射镜、聚集模组以及通过信号连接的激光探测器，其中激光加工系统与激光检测系统共用激光器、分光模组、反射镜和聚集模组，且均位于精密夹具的同一侧，所述射线检测系统包括射线源和射线探测器，所述射线探测器和所述激光加工系统均位于所述精密夹具的同一侧，所述射线源位于精密夹具的另一侧，所述PC模块通过信号线与激光检测器和射线检测器连接，所述精密夹具套设在板材上，且所述精密夹具相对板材可沿x、y方向平行移动、沿u、i方向旋转移动。

其中，所述板材包括上层的上铜箔、中间层的PI层和底层的下铜箔。

其中，所述精密夹具沿u方向进行角度调节，调节范围为0～45°，同时可以沿i方向旋转，旋转角度为0～360°，旋转速度为0～500rpm。

优选地，所述精密夹具沿u方向进行角度调节，调节范围为10～30°，同时可以沿i方向旋转，旋转角度为60～250°，旋转速度为100～300rpm。

优选地，所述精密夹具沿u方向进行角度调节，调节范围为20°，同时可以沿i方向旋转，旋转角度为150°，旋转速度为200rpm。

相对于现有技术，该实时监测激光加工复合材料的系统的有益效果：由于加工激光束与探测激光束由同一激光器产生，简化了在线检测系统的结构，减小激光器以及相关光学元件的数量，降低了系统成本。

附图说明

利用附图对实用新型作进一步说明，但附图中的实施例不构成对本实用新型的任何限制，对于本领域的普通技术人员，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据以下附图获得其它的附图。

图1是本实用新型的系统结构示意图；

图2是本实用新型只有射线检测时的结构示意图；

图3是本实用新型具有激光检测和射线检测时的结构示意图；

图4是本实用新型针对复合板材两种检测的结构示意图；