[实用新型]一种电容器高真空镀膜机用冷却装置

说明书

本实用新型公开了一种电容器高真空镀膜机用冷却装置，包括储水箱、抽水泵、排水管、安装筒、固定块、冷却导管、铝制导热筒、齿轮圈、圆柱齿轮、步进电机、半导体制冷片、进水管、水阀、第一导水管、制冷箱、冰块盒、第二导水管、冰块层和镀膜机主体。本实用新型可以更好的使铝制导热筒与冷却导管充分接触，使冷却导管更好的、更全面的对铝制导热筒进行制冷，从而可以更好的对真空镀膜机的进行冷却，极大的提高了冷却速度；更好的对真空镀膜机进行二次不同程度的冷却，避免了对真空镀膜机冷却是温度差过大造成影响，极大的提高了真空镀膜机的使用寿命，同时也增强了实用性。

技术领域

本实用新型涉及一种冷却装置，具体是一种电容器高真空镀膜机用冷却装置，属于真空镀膜机技术领域。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，真空镀膜机在工作的时候会产生大量的热量，需要及时有效的进行冷却，以确保其正常工作。

现有对真空镀膜机进行散热时，大多数是在真空镀膜机腔体外侧表面焊接圆管，在圆管内通冷却水来冷却，这样一来由于圆管与真空镀膜机接触的范围比较有限，从而冷却起来速度比较缓慢，冷却不及时，很容易导致真空镀膜机因为温度过高而损坏。因此，针对上述问题提出一种电容器高真空镀膜机用冷却装置。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种电容器高真空镀膜机用冷却装置。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的，一种电容器高真空镀膜机用冷却装置，包括储水箱，所述储水箱顶端固定连接有安装筒，所述安装筒通过安装在安装筒内腔顶端的轴承转动连接有铝制导热筒，所述铝制导热筒内侧壁表面滑动接触有镀膜机主体，且镀膜机主体与储水箱顶端接触，所述安装筒通过安装在安装筒内壁的固定块固定连接有冷却导管，且冷却导管表面与铝制导热筒表面滑动接触，所述冷却导管底端固定连接有排水管，且排水管底端贯穿储水箱顶端并延伸至储水箱内腔，所述冷却导管顶端固定连接有进水管，所述安装筒顶端安装有步进电机，所述安装筒内腔安装有带动铝制导热筒进行转动的传动组件，且传动组件的动力输入端与步进电机驱动端上的驱动轴连接，所述储水箱内腔安装有抽水泵，所述抽水泵排水端固定连接有第二导水管，所述第二导水管通过安装在第二导水管表面的三通管固定连接有第一导水管，所述第一导水管和第二导水管表面均设有水阀，所述储水箱一端固定连接有制冷箱，且第一导水管和第二导水管贯穿制冷箱内腔并与安装在进水管表面的三通管连接，所述制冷箱内腔安装有对第一导水管和第二导水管进行制冷的制冷机构。

优选的，所述传动组件由齿轮圈和圆柱齿轮组成，所述齿轮圈安装在铝制导热筒表面，所述圆柱齿轮安装在步进电机驱动端上的驱动轴上，且齿轮圈与圆柱齿轮啮合。

优选的，所述制冷机构由半导体制冷片、冰块盒以及冰块层组成，所述半导体制冷片安装在制冷箱内侧壁上，所述半导体制冷片的吸热端位于制冷箱内腔，且半导体制冷片的放热端位于制冷箱外部，所述冰块盒一端与制冷箱内侧壁连接，所述冰块层填充在冰块盒内。

优选的，所述第二导水管的其中一段为折形结构，且第二导水管折形结构段位于冰块盒内腔。

优选的，所述冷却导管为螺旋形结构，且螺旋结构的冷却导管绕缠在铝制导热筒表面。

本实用新型的有益效果是：

1.通过设置冷却导管、铝制导热筒、齿轮圈以及圆柱齿轮之间的相互配合，可以更好的使铝制导热筒与冷却导管充分接触，使冷却导管更好的、更全面的对铝制导热筒进行制冷，从而可以更好的对真空镀膜机的进行冷却，极大的提高了冷却速度。

2.通过设置第一导水管、第二导水管、冰块层以及半导体制冷片之间的相互配合，更好的对真空镀膜机进行二次不同程度的冷却，避免了对真空镀膜机冷却是温度差过大造成影响，极大的提高了真空镀膜机的使用寿命，同时也增强了实用性。