[实用新型]一种电容器真空镀膜机用散热装置有效

专利信息
申请号: 201921580253.5 申请日: 2019-09-21
公开(公告)号: CN210560691U 公开(公告)日: 2020-05-19
发明(设计)人: 刘玲 申请(专利权)人: 芜湖鑫国电子科技有限公司
主分类号: C23C14/22 分类号: C23C14/22;F25D17/04
代理公司: 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 代理人: 张艳
地址: 241000 安*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 电容器 真空镀膜 散热 装置
【说明书】:

实用新型公开了一种电容器真空镀膜机用散热装置,包括箱体、丝杠、喷气头、导气管、固定杆、驱动座、带轮、步进电机、皮带、安装箱、空心筒、齿轮圈、镀膜机主体、转轴、大圆柱齿轮、从动锥齿轮、主动锥齿轮、小圆柱齿轮、轴杆和齿条。本实用新型通过设置对散热喷气组件在竖直方向围绕镀膜机主体做往复运动,同时在水平方向上做180度往复转动,这样一来可以更好的将散热喷气组件喷出的冷风对镀膜机主体进行全方位的喷射,从而使镀膜机主体更充分、更全面进行进行受冷散热,极大的加快了散热速度,同时也提高了散热效率;极大的提高了工作效率,同时也增强了散热装置的实用性。

技术领域

本实用新型涉及一种散热装置,具体是一种电容器真空镀膜机用散热装置,属于真空镀膜机技术领域。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种,主要思路是分成发和溅射两种,而真空镀膜机是电容器表面进行镀膜最常用的设备。

现有的对真空镀膜机进行散热时,大多数通过散热风扇对真空镀膜机进行散热,但是散热风扇对真空镀膜机吹动的位置比较局限,这样一来对真空镀膜机散热的速度比较缓慢,需要消耗大量的时间,从而极大的降低了散热效率,同时也降低了散热装置的实用性。因此,针对上述问题提出一种电容器真空镀膜机用散热装置。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种电容器真空镀膜机用散热装置。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的,一种电容器真空镀膜机用散热装置,包括箱体,所述箱体顶端安装有步进电机,所述箱体内腔底端安装有镀膜机主体,所述箱体内腔安装有竖直设置的竖直升降组件,且竖直升降组件的动力输入端与步进电机驱动端连接,所述竖直升降组件的动力输出端安装有安装箱,所述安装箱内侧壁转动配合有水平设置的轴杆,所述轴杆一端安装有主动锥齿轮,所述轴杆另一端安装有小圆柱齿轮,所述安装箱内腔顶端和底端均转动配合有竖直设置的转轴,所述转轴表面安装有大圆柱齿轮,两个所述转轴末端均安装有从动锥齿轮,且两个从动锥齿轮平行设置并与主动锥齿轮啮合,所述安装箱通过安装在安装箱内腔顶端的轴承转动配合有空心筒,且空心筒位于镀膜机主体正上方,所述空心筒表面安装有两个齿轮圈,两个所述齿轮圈均由一半光面段和一半轮齿段组成,且两个齿轮圈的轮齿段朝向相反设置,其中一个齿轮圈的轮齿段与一个大圆柱齿轮啮合,且另一个齿轮圈的光面段与另一个大圆柱齿轮滑动接触,所述空心筒表面安装有两组对称设置的对镀膜机主体表面喷设冷气进行散热的散热喷气组件,所述箱体内侧壁安装有齿条,且小圆柱齿轮与齿条啮合。

优选的,所述竖直升降组件包括两个竖直设置的丝杠以及一个水平设置的皮带,所述丝杠的光杆段上安装有带轮,且两个带轮通过皮带传动连接,所述丝杠的螺纹段上螺纹连接有驱动座,且两个驱动座固定连接有同一个安装箱,且两个丝杠均通过与安装在箱体内腔顶端和底端的轴承转动配合,且其中一个丝杠顶端与步进电机驱动端连接。

优选的,所述散热喷气组件由固定杆、喷气头以及导气管组成,所述固定杆安装在空心筒上,所述喷气头安装在固定杆上,所述导气管一端与喷气头连接,且导气管的另一端外接有制冷设备。

优选的,所述轴杆表面与安装在安装箱侧壁上的安装架转动配合。

优选的,所述箱体侧壁上开设有若干个排气孔。

本实用新型的有益效果是:

1.通过设置对散热喷气组件在竖直方向围绕镀膜机主体做往复运动,同时在水平方向上做180度往复转动,这样一来可以更好的将散热喷气组件喷出的冷风对镀膜机主体进行全方位的喷射,从而使镀膜机主体更充分、更全面进行进行受冷散热,极大的加快了散热速度,同时也提高了散热效率。

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