[实用新型]一种挥发性有机物的回收装置

说明书

本实用新型公开了一种挥发性有机物的回收装置，包括连接端和冷却端，所述连接端为下端敞口的空腔结构，所述连接端的上端与冷却端连接，所述冷却端为双层密封结构，冷却端内部为冷却腔，冷却端的侧壁上设有与冷却腔连通的进水管与出水管，所述进水管靠近冷却端的下端设置，所述出水管靠近冷却端的上端设置。烧杯内的挥发性有机物向上挥发后在冷却端的底部遇冷冷凝回流到烧杯内，从而实现了对挥发性有机物的回收利用，减小了挥发性有机物向大气内的排放量，降低了大气污染；该装置能够重复利用，使用方便，其结构简单，制造成本低，大大减小了使用成本。

技术领域

本实用新型涉及挥发性有机物的回收技术领域，具体为一种挥发性有机物的回收装置。

背景技术

随着人们环境意识的增强，对环境保护问题的关注程度也在增强。在发展经济的同时如何保护好我们的生存环境已经成为一个紧迫的话题。如何减轻对地球环境的负担确保安全和健康，以节约能源、节省资源，废物再利用，减少废弃物，管理好化学物质的排放成为人们对环境保护的有效措施。结合推进ISO14000认证，以建设21世纪绿色工厂为目标，人们在环境保护方面进行着积极的努力，但由于半导体制造工业的特殊性，导体制造过程中使用了多品种大量的化学物质，化学物质的运输、储存、使用和排放有严格的规定。政府主管部门都制定了相关的法律法规，但是由于半导体技术发展迅速，大量新型化学药品的开发和使用，这要求业者从保护环境的目标出发，自觉有效地管好用好各种物品，避免发生各种意外事件。

半导体工业制造过程中晶原表面的清洗是重要的一道工艺，几乎每道工序都必须要清洗，所制造的器件越高端工艺越复杂清洗工艺越多。清洗工艺涉及到大量的酸、碱及有机溶剂，有机溶剂的排放即VOCs，它是臭氧和PM2.5的前身，挥发性有机物(VOCs)在大气化学过程中扮演了极其重要的角色，对大气的氧化能力、二次有机污染形成、人体健康等方面都有重要影响。城市地区高浓度臭氧和二次细颗粒物(PM2.5)的形成都是围绕VOCs的光化学反应过程。

有机溶剂等含VOCs原辅材料的使用是VOCs重要排放来源，VOCs挥发性强，涉及行业广，产排污环节多，无组织排放特征明显。目前企业多采取活性炭吸附工艺，但要需要不断更换吸附材料，成本较高，治理还是从源头控制，减少排放和回收利用才是最有效的措施。

实用新型内容

本实用新型就是针对现有技术存在的上述不足，提供一种挥发性有机物的回收装置，烧杯内的挥发性有机物向上挥发后在冷却端的底部遇冷冷凝回流到烧杯内，从而实现了对挥发性有机物的回收利用，减小了挥发性有机物向大气内的排放量，降低了大气污染；该装置能够重复利用，使用方便，其结构简单，制造成本低，大大减小了使用成本。

为实现上述目的，实用新型提供如下技术方案：

一种挥发性有机物的回收装置，包括连接端和冷却端，所述连接端为下端敞口的空腔结构，所述连接端的上端与冷却端连接，所述冷却端为双层密封结构，冷却端内部为冷却腔，冷却端的侧壁上设有与冷却腔连通的进水管与出水管，所述进水管靠近冷却端的下端设置，所述出水管靠近冷却端的上端设置。

优选的，所述冷却端包括外层和内层，所述外层与内层均为圆锥壳体结构，所述连接端为两端开口的圆筒结构，所述内层的下端与连接端的上端密封连接，所述外层套在内层的外侧，外层的下端与内层的下端密封连接，外层与内层之间为所述冷却腔，所述进水管与出水管均与外层连接。

优选的，所述内层的下端直径比连接端的上端直径大5mm-10mm。

优选的，所述外层的圆锥倾斜度为40°-45°，所述内层的圆锥斜度30°-35°。

优选的，所述连接端、外层和内层的壁厚均为2mm-3mm。

优选的，所述进水管与出水管的直径为10mm-15mm。

优选的，所述连接端的长度为50mm-70mm。