[实用新型]电极保护装置

权利要求书

1.一种电极保护装置，用于保护一等离子刻蚀设备的上电极，所述上电极呈环形，其特征在于，包括：

绝缘环，套设在所述上电极的外侧；

遮蔽环，位于所述上电极的上方且在所述绝缘环的内环面内，所述遮蔽环的环面至少遮盖所述上电极的顶部。

2.如权利要求1所述的电极保护装置，其特征在于，所述遮蔽环靠近所述上电极的表面上设置有环形凸脊。

3.如权利要求2所述的电极保护装置，其特征在于，所述电极保护装置还包括沿所述绝缘环的内环面周向设置的若干连接件，所述遮蔽环的外环面通过所述连接件与所述绝缘环的内环面可拆卸连接。

4.如权利要求3所述的电极保护装置，其特征在于，所述连接件沿所述绝缘环的内环面均匀分布。

5.如权利要求3所述的电极保护装置，其特征在于，所述连接件包括螺柱及螺帽，所述螺柱的一端与所述螺帽螺纹连接，所述绝缘环的内环面上设置有若干螺纹孔，所述螺柱的另一端旋入所述螺纹孔以连接所述绝缘环，所述螺帽的头部封闭且设置有一卡槽，所述遮蔽环的外环面卡入所述卡槽内以连接所述连接件。

6.如权利要求5所述的电极保护装置，其特征在于，所述螺柱的两端分别为第一端及第二端，所述第一端及第二端沿所述螺柱的轴向均设置有外螺纹，且所述第一端的外螺纹的外径大于所述第二端的外螺纹的外径，所述螺帽的一端设置有与所述第二端外螺纹相匹配的内螺纹。

7.如权利要求6所述的电极保护装置，其特征在于，所述螺柱的材质为耐磨陶瓷。

8.如权利要求5所述的电极保护装置，其特征在于，所述卡槽的槽口方向平行于所述遮蔽环所在的表面。

9.如权利要求1中所述的电极保护装置，其特征在于，所述绝缘环的材质为石英或陶瓷。

10.如权利要求1中所述的电极保护装置，其特征在于，所述上电极为电感线圈。