[实用新型]一种高纯硫化氢的提纯装置

说明书

本实用新型公开了一种高纯硫化氢的提纯装置，包括第一精馏塔、第二精馏塔和吸附装置；所述第一精馏塔的塔顶产品出口通过第一冷凝器与第二精馏塔的进料口相连，第二精馏塔的塔底产品出口与吸附装置的进料口相连，所述吸附装置包括至少一个串联或并联的吸附器，所述吸附器中设有多孔吸附材料。本实用新型所述高纯硫化氢的提纯装置可以对石化尾气精制得到的99％的硫化氢或者其它途径得到的95％以上的硫化氢进行纯化处理，提纯后可以将品质提升到99.999％以上，满足电子行业的使用要求。

技术领域

本实用新型涉及一种气体纯化装置，具体涉及一种高纯硫化氢的提纯装置。

背景技术

高纯硫化氢是一种重要的电子气体，应用在CVD、掺杂等工艺制备光学、电子器件。硫化氢来源很广泛，石油化工、煤化工等行业产生大量的硫化氢气体，经过富集、精制得到99％左右的工业级硫化氢气体。这些工业级的硫化氢因杂质较高无法满足电子行业的要求。而以硫磺为原料生产的硫化氢生产成本相对较高，品质也较难以直接达到99.99％以上的纯度，也需要再进行提纯。

发明内容

本实用新型的目的在于克服上述现有技术存在的不足之处而提供一种高纯硫化氢的提纯装置。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：一种高纯硫化氢的提纯装置，包括第一精馏塔、第二精馏塔和吸附装置；所述第一精馏塔的塔顶产品出口通过第一冷凝器与第二精馏塔的进料口相连，第二精馏塔的塔底产品出口与吸附装置的进料口相连，所述吸附装置包括至少一个串联或并联的吸附器，所述吸附器中设有多孔吸附材料。

本实用新型所述高纯硫化氢的提纯装置，在工艺上采用了精馏和吸附相结合的工艺，能够将硫化氢及与硫化氢物理性质相接近的气体进行提纯，通过第一精馏塔有效的去除重组份杂质(H₂O、SO₂等)，通过第二精馏塔去除轻组分杂质(N₂、O₂、CH₄、CO等)，然后通过吸附器再次吸附了部分杂质(主要为H₂O)后获得高纯硫化氢气体，能够高效地将纯度达到95％的硫化氢提纯到99.999％以上。

作为本实用新型所述高纯硫化氢的提纯装置的优选实施方式，所述吸附器上设有加热装置，所述加热装置用于多孔吸附材料的再生。经第二精馏塔处理后的硫化氢经过吸附器，多孔吸附材料吸附了一定量的极小部分的硫化氢和剩余水分等杂质后，其处理能力会有所下降，通过加热器加热和气体吹扫的方式将多孔吸附材料再生，吸附器再生完成后可继续用于硫化氢纯化。

作为本实用新型所述高纯硫化氢的提纯装置的优选实施方式，所述吸附装置的出料口通过第二冷凝器与气体收集罐相连。脱附后的硫化氢进入第二冷凝器中，经冷凝后便于收集。

作为本实用新型所述高纯硫化氢的提纯装置的优选实施方式，所述第二精馏塔的塔顶产物出口与第三冷凝器相连。塔顶产物为轻组分杂质(N₂、O₂、CH₄、CO等)的混合气体，经冷凝后便于后续废气处理。

作为本实用新型所述高纯硫化氢的提纯装置的优选实施方式，所述第三冷凝器出口与废气处理系统相连。

作为本实用新型所述高纯硫化氢的提纯装置的优选实施方式，所述高纯硫化氢的提纯装置还包括制冷机，所述制冷机用于提供冷凝器的冷媒。所述制冷机用于提供第一冷凝器、第二冷凝器和第三冷凝器的冷媒。冷凝器需要通入低温冷媒，冷媒可以为低温油或者酒精。

作为本实用新型所述高纯硫化氢的提纯装置的优选实施方式，所述第一精馏塔包括至少一个串联或并联精馏塔，所述第二精馏塔包括至少一个串联或并联的精馏塔。第一精馏塔和第二精馏塔的个数可以根据实际气体处理量设定。