[实用新型]一种可取消吸水构件的硅片插片机的出片机构

说明书

本实用新型公开了一种可取消吸水构件的硅片插片机的出片机构，包括相对设置的喷水机构和出片机构本体，以及驱动出片机构本体的电机，硅片位于喷水机构和出片机构本体之间，所述出片机构本体包括连接板、设置于连接板相对两侧的传动辊和位于连接板相对两侧的传动辊上方的主动辊，所述主动辊连接于电机的转轴上，位于连接板相对两侧的传动辊分别其上方的主动辊外套设有呈闭环运动的传送平带；本实用新型结构简单，改装方便易行，本实用新型采用5~10mm宽度传送平带，传送平带可以采用片基带、橡胶带、聚氨酯带等摩擦力大的材质，大大增加与硅片接触面积，轻松出片不打滑。并可一举取消吸水水泵，精简机构，降低能耗；增加出片的顺畅度，提高出片质量。

技术领域

本发明属于硅片生产的插片设备技术领域，特别涉及一种可取消吸水构件的硅片插片机的出片机构。

背景技术

硅片插片机的主要技术难点在于怎样把一摞硅片完全分开，并一片一片的取出，插到硅片承载器内。目前插片机均采用前喷侧喷喷水，将硅片在水中分开，通过出片机构上的吸水孔把第一片吸住贴在吸轮圆皮带上，再由吸轮皮带转动，将硅片带出并通过后续的传输皮带，插到硅片承载器内。

现有技术中，硅片通过前喷侧喷的喷水分开，再通过吸水孔将第一张硅片吸住贴在4根PU的圆带上，电机带动传动轴驱动圆带转动，将硅片带出，PU圆带外径3mm ，与硅片接触为线接触。

由于采用的是PU圆带作为吸轮皮带，与硅片间的摩擦力较小，硅片出片不顺畅，出片倾斜是目前最为严重的问题。同时，必须借助吸水水泵吸住硅片，才能作业。

发明内容

本发明提供一种可取消吸水构件的硅片插片机的出片机构，以解决现有技术中的问题。

为实现上述目的，本发明采用的技术方案为：

一种可取消吸水构件的硅片插片机的出片机构，包括相对设置的喷水机构和出片机构本体，以及驱动出片机构本体的电机，硅片位于喷水机构和出片机构本体之间，所述出片机构本体包括连接板、设置于连接板相对两侧的传动辊和位于连接板相对两侧的传动辊上方的主动辊，所述主动辊连接于电机的转轴上，位于连接板相对两侧的传动辊分别其上方的主动辊外套设有呈闭环运动的传送平带。

进一步的，所述连接板相对的两侧各设置有两根转轴杆，每根转轴杆上套装有一个传动辊，主动辊为两根依次套设于电机的转轴上，每一个主动辊分别对应连接板同一侧的两个传动辊，按照传送平带的运动方向，从主动辊开始，将位于连接板一侧的主动辊和两个传动辊依次为第一主动辊，第一传动辊，第二传动辊，将位于连接板另一侧的主动辊和两个传动辊依次为第二主动辊，第三传动辊，第四传动辊。

进一步的，所述传动辊和主动辊上均设置有卡槽，传送平带在卡槽内运动。

进一步的，所述连接板相对的两侧各设置有两根转轴杆，每根转轴杆上套装有一个传动辊，主动辊为一个，主动辊套设于电机的转轴上，主动辊上设置有两个卡槽，主动辊上的两个卡槽分别对应连接板相对两侧的两个传动辊，按照传送平带的运动方向，从主动辊开始，将位于连接板一侧主动辊上的卡槽与相对应侧的两个传动辊位置相对应，将位于连接板另一侧主动辊上的卡槽与相对应侧的两个传动辊位置相对应，所述传动辊上均设置有卡槽。

进一步的，所述喷水机构包括前喷组和两个侧喷组，所述前喷组位于硅片的正前方，两个侧喷组分别位于前喷组的两侧并位于硅片的侧前方，出片机构本体位于硅片的正后方。

进一步的，位于卡槽内与传送平带的接触面上设置有表面轧花，所述传送平带的表面设置有凸点或花纹。

进一步的，所述卡槽的宽度与传送平带的宽度相匹配。

进一步的，所述传送平带为片基带。

进一步的，所述传送平带为橡胶带或聚氨酯带。

进一步的，所述传送平带的宽度为5~10mm。