[实用新型]一种磷化氢气体净化装置

权利要求书

1.一种磷化氢气体净化装置，其特征在于：包括气柜、与所述气柜通过进气管(2)相连的洗气罐(1)，所述洗气罐(1)顶部设置有出气管(6)、文丘里射流器(3)，所述文丘里射流器(3)一端与所述进气管(2)相连另一端与所述洗气罐(1)相连，所述洗气罐(1)内设置有吸收液、底部设置有与所述文丘里射流器(3)进液口相连的回流管(4)、与所述回流管(4)相连的回流泵(5)。

2.根据权利要求1所述的一种磷化氢气体净化装置，其特征在于：所述进气管(2)上设置有调压管(7)，所述调压管(7)一端与所述进气管(2)相连另一端与所述洗气罐(1)相连，所述调压管(7)上设置有用于调节气流的球阀(8)。

3.根据权利要求2所述的一种磷化氢气体净化装置，其特征在于：所述洗气罐(1)顶部设置有补液管(9)、侧壁设置有溢流管(10)，使所述洗气罐(1)内吸收液保持一定液位。

4.根据权利要求3所述的一种磷化氢气体净化装置，其特征在于：所述调压管(7)底部位于所述吸收液液位下方。

5.根据权利要求3所述的一种磷化氢气体净化装置，其特征在于：所述洗气罐(1)侧壁设置有液位计(12)。

6.根据权利要求1所述的一种磷化氢气体净化装置，其特征在于：所述出气管(6)上连接有加压管(14)、与所述加压管(14)相连的加压泵(15)。

7.根据权利要求1所述的一种磷化氢气体净化装置，其特征在于：所述吸收液为水、松节油、杏仁油中的一种。