[实用新型]一种用于单晶炉的提升装置及单晶炉有效
申请号: | 201921548238.2 | 申请日: | 2019-09-18 |
公开(公告)号: | CN210765579U | 公开(公告)日: | 2020-06-16 |
发明(设计)人: | 罗才军;关树军;刘要普;罗园;李豹 | 申请(专利权)人: | 乌海市京运通新材料科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京巨弘知识产权代理事务所(普通合伙) 11673 | 代理人: | 陈芹利 |
地址: | 016000 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 单晶炉 提升 装置 | ||
1.一种用于单晶炉的提升装置,其特征在于,包括设在所述单晶炉内部且位于炉底(4)上方的提升托盘(1),以及穿过所述提升托盘(1)和所述炉底(4)的坩埚托杆(2);
所述坩埚托杆(2)从上到下包括第一托杆部(21)和第二托杆部(22),所述第二托杆部(22)顶部的直径大于所述第一托杆部(21)底部的直径;
所述提升托盘(1)位于下保温筒(3)下方,所述提升托盘(1)的直径大于所述下保温筒(3)的直径,在所述提升托盘(1)的轴线位置设有第一通孔(11),所述第一通孔(11)的直径大于所述第一托杆部(21)底部的直径且小于所述第二托杆部(22)顶部的直径;
在所述炉底(4)的轴线上设有第二通孔(41),所述第二通孔(41)的直径大于或等于所述第二托杆部(22)顶部的直径;
所述第一通孔(11)、所述第二通孔(41)和所述坩埚托杆(2)处于同一轴线上。
2.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的提升装置,其特征在于,所述第一托杆部(21)穿过所述第一通孔(11)和所述第二通孔(41)并与所述第二托杆部(22)固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种用于单晶炉的提升装置,其特征在于,所述第一托杆部(21)包括竖直杆(211)和设在所述竖直杆(211)顶部的水平托板(212),所述水平托板(212)的轴线与所述竖直杆(211)的处于同一轴线上;在所述竖直杆(211)的底部设有第一凸起(213),在所述第一凸起(213)上设有外螺纹;在所述第二托杆部(22)的顶部设有第一凹槽(221),在所述第一凹槽(221)内壁上设有内螺纹,所述第一托杆部(21)和所述第二托杆部(22)为螺纹连接。
4.根据权利要求3所述的一种用于单晶炉的提升装置,其特征在于,在所述水平托板(212)上表面设有第二凹槽(2121),在所述水平托板(212)与所述竖直杆(211)的连接处设有环形凹槽(2122)。
5.根据权利要求1-3任一项所述的一种用于单晶炉的提升装置,其特征在于,在所述第一托杆部(21)设有第三通孔(214),在所述第二托杆部(22)上设有第一阶梯孔(222)和第二阶梯孔(223),所述第三通孔(214)、所述第一阶梯孔(222)和所述第二阶梯孔(223)处于同一轴线上,所述第三通孔(214)与所述第一阶梯孔(222)的孔径相同,所述第二阶梯孔(223)的孔径小于所述第一阶梯孔(222)的孔径。
6.根据权利要求5所述的一种用于单晶炉的提升装置,其特征在于,在所述第一阶梯孔(222)和所述第二阶梯孔(223)内部设有螺钉,所述坩埚托杆(2)通过螺钉与单晶炉的中轴固定连接。
7.一种包含如权利要求1-6任一项所述的提升装置的单晶炉,其特征在于,所述单晶炉的炉体为双层炉壁结构(5),在双层炉壁之间通有冷却水。
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